Физика твердого тела
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Управление свойствами алмазоподобных кремнийуглеродных пленок
Переводная версия: 10.1134/S1063783420100261 
Российского фонда фундаментальных исследований (РФФИ), А, 19-07-00021
1Национальный исследовательский университет "МЭИ", Москва, Россия 
2Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук, Москва, Россия
2Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук, Москва, Россия
Email: popovai2009@gmail.com
Поступила в редакцию: 28 мая 2020 г.
В окончательной редакции: 28 мая 2020 г.
Принята к печати: 4 июня 2020 г.
Выставление онлайн: 1 июля 2020 г.
Рассмотрены возможности управления электрофизическими и механическими свойствами аморфных алмазоподобных кремнийуглеродных пленок методами структурной, химической и структурно-химической модификации. В качестве факторов структурной модификации использовались величина напряжения смещения и его частота в процессе синтеза пленок, давление аргона в рабочей камере, а также прекурсоры с различной молекулярной структурой. Для химической и структурно-химической модификации осуществлялось введение в пленку переходных металлов с концентрацией до 30-35 аt.%. Показана высокая эффективность управления физическими свойствами пленок рассматриваемыми методами. Ключевые слова: кремнийуглеродные пленки, полифенилметилсилоксан, полиметилсилоксан, структурная, химическая и структурно-химическая модификация, нанокомпозиты, электропроводность, нанотвердость.
- Н.А. Горюнова, Б.Т. Коломиец. Изв. АН ССС. Сер. физ. 20, 1496 (1956)
- W.E. Spear, P.G. Le Comber. Solid State Commun. 17, 1193 (1975)
- S.R. Ovshinsky. In: Amorphous and Liquid Semiconductors / Ed. W.E. Spear. University of Edinburgh, UK (1977) P. 519
- A. Popov, N. Mikhalev, V. Shemetova. Phil. Mag. B 47, 73 (1983)
- А.И. Попов, В.А. Воронцов, И.А. Попов. ФТП 35, 665 (2001)
- v S. Mev skinis, A. Tamuleviv ciene. Mater. Sci. (Medv ziagotyra) 17, 358 (2011)
- F. Mangolini, B.A. Krick, T.D.B. Jacobs, S.R. Khanal, F. Streller, J.B. McClimon, J. Hilbert, S.V. Prasad, T.W. Scharf, J.A. Ohlhausen, J.R. Lukes, W.G. Sawyer, R.W. Carpick. Carbon 130, 127 (2018)
- A.I. Popov, A.D. Barinov, M.Y. Presniakov. J. Nanoelectron. Optoelectron. 9, 787 (2014)
- E.V. Zavedeev, O.S. Zilova, M.L. Shupegin, A.D. Barinov, N.R. Arutyunyan, T. Roch, S.M. Pimenov. Appl. Phys. A 122 : 961. DOI: 10.1007/s00339-016-0508-7(2016)
- A. Popov. Disordered Semiconductors: Physics and Applications. 2d ed. Pan Stanford Publ. (2018). 327 p
- М.Л. Шупегин. Завод. лаб. Диагностика материалов 79, 28 (2013)
- Б.Г. Будагян, А.А. Шерченков, А.Е. Бердников, В.Д. Черномордик. Микроэлектроника 29, 442 (2000)
- А.А. Шерченков. Материалы электронной техники 1, 48 (2003)
- М.Д. Малинкович, Ю.Н. Пархоменко, Д.С. Поляков, М.Л. Шупегин. Материалы электронной техники 1, 41 (2010)
- T. Tamuleviv cius, D.Tamuleviv ciene, A. Virganaviv cius, V. Vasiliauskas, v S. Kopustinskas, S. Mev skinis. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 341, 1 (2014)
- М.Ю. Пресняков, А.И. Попов, Д.С. Усольцева, М.Л. Шупегин, А.Л. Васильев. Рос. нанотехнологии 9, 59 (2014)
- А.А. Снарский, И.В. Безсуднов, В.А. Севрюков. Процессы переноса в макроскопически неупорядоченных средах: от теории среднего поля до перколяции. ЛКИ, М. (2007). 304 с
- Я.М. Колотырин, В.М. Княжева. В сб.: Итоги науки и техники. ВИНИТИ, М. (1974). Т. 3. С. 5
- А.Д. Баринов, А.И. Попов, М.Ю. Пресняков. Неорган. материалы, 53, 706 (2017)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
