Оценена вариация эмиссии медленных вторичных электронов из поверхности рельефных структур (выступов) в ходе длительного их сканирования в низковольтном растровом электронном микроскопе. Характер вариации зависит от участка профиля выступа, он особенно сложен вблизи углов рельефных структур. В результате искажаются соответствующие участки кривой видеосигнала от выступа, что приводит к увеличению или даже к уменьшению геометрических размеров этих участков. Вариация эмиссии объяснена наведением локальных зарядов в слое естественного окисла на поверхности кремния. Размер участков изменяется также из-за осаждения на поверхности выступа контаминационной пленки. Предположительно, ее осаждение зависит от наведенных зарядов на поверхности выступа и поэтому плохо воспроизводимо. Зафиксирован случай отсутствия контаминационного уширения выступа в результате длительного его сканирования. Ключевые слова: нанометрология, низковольтный растровый электронный микроскоп (РЭМ), рельефная структура, поверхностные зарядовые состояния, контаминация.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.