Физика твердого тела

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Effective charge in LiNbO₃ films fabricated by radio-frequency magnetron sputtering method

Полная версия: 10.1134/S1063783419120552

Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), Синтез пленок ниобата лития для элементной базы опто-, акусто- и микроэлектронных устройств, 18-29-11062

Sumets M.

¹, Belonogov E.

², Dybov V.

², Serikov D.², Kostyuchenko A.

², Ievlev V. ^1,3, Kotov G. ⁴

¹Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия Voronezh State University, Voronezh, Russia

²Воронежский государственный технический университет, Воронеж, Россия Voronezh State Technical University, Voronezh, Russia

³Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия Lomonosov Moscow State University, Moscow, Russia

⁴Воронежский государственный университет инженерных технологий, Воронеж, Россия Voronezh State University of Engineering Technologies, Voronezh, Russia

Voronezh State University of Engineering Technologies, Voronezh, Russia

Email: maxsumets@gmail.com

Поступила в редакцию: 16 июля 2019 г.

Выставление онлайн: 19 ноября 2019 г.

PDF версия

Абстракт
Статистика просмотров

Amorphous Li-Nb-O films were deposited onto Si substrates by radio-frequency magnetron sputtering method. The fabricated heterostructures demonstrated the presence of effective oxide charge Q_eff having both negative and positive components. Thermal annealing (TA) of as-grown heterostructures leads to the crystallization of a Li-Nb-O system with the formation of LiNbO₃ films. The Qeff changes with TA, reaching a minimum at the annealing temperature of about 470^oC, corresponding to the entire film's crystallization. Keywords: lithium niobate; LiNbO3, sputtering, thin films, crystallization, oxide charge.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель