Вышедшие номера
Механизм диффузии монооксидов углерода и кремния в кристалле кубического карбида кремния
Переводная версия: 10.1134/S1063783419120242
Кукушкин С.А. 1, Осипов А.В. 2
1Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Национальный исследовательский университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия
Email: sergey.a.kukushkin@gmail.com, andrey.v.osipov@gmail.com
Поступила в редакцию: 16 июля 2019 г.
В окончательной редакции: 16 июля 2019 г.
Принята к печати: 25 июля 2019 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2019 г.

Описаны основные процессы, протекающие при диффузии газов монооксидов углерода CO и кремния SiO через слой монокристаллического карбида кремния SiC кубического политипа. Данная задача возникает при выращивании слоя монокристаллического SiC методом согласованного замещения атомов за счет химической реакции кристаллической подложки кремния с газом СО. Продуктами реакции являются эпитаксиальный слой SiC и газ SiO. Показано, что молекулы СО и SiO распадаются в кристалле SiC на отдельные атомы. Диффузия атомов кислорода осуществляется по междоузлиям только в направлении [110] с энергией активации 2.6 eV. Перемещение атомов Si и С происходит по вакансионному механизму в соответствующих подрешетках SiC с энергиями активации 3.6 eV и 3.9 eV соответственно и также лишь в направлении [110]. Ключевые слова: карбид кремния, диффузия, ab initio моделирование, эпитаксия.
  1. S.A. Kukushkin, A.V. Osipov. J. Phys. D.: 47, 313001 (2014)
  2. С.А. Кукушкин, А.В. Осипов, Н.А. Феоктистов. ФТТ 56, 1457 (2014)
  3. Ш.Ш. Шарофидинов, С.А. Кукушкин, А.В. Редьков, А.С. Гращенко, А.В. Осипов. ПЖТФ 45, 24 (2019)
  4. J. Hafner. J. Comp. Chem. 29, 2044 (2008)
  5. J. Sun, A. Ruzsinszky, J.P. Perdew. Phys. Rev. Lett. 115, 036402 (2015)
  6. K.J. Caspersen, E.A. Carter. PNAS 102, 6738 (2005)
  7. С.А. Кукушкин, А.В Осипов. ПЖТФ 43 (13), 81 (2017)
  8. A.V. Osipov. J. Phys. D: 28, 1670 (1995)
  9. С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. ФТТ 60, 1841 (2018)
  10. S.A. Kukushkin, A.V. Osipov. J. Phys. D.: 50, 464006 (2017)
  11. C.А. Грудинкин, C.А. Кукушкин, А.В. Осипов, Н.А. Феоктистов. ФТТ 59, 2403 (2017)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.