Физика твердого тела

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Исследование упругих свойств пленок SiC, синтезированных на подложках Si методом замещения атомов

DOI: 10.21883/FTT.2019.12.48590.33ks

Переводная версия: 10.1134/S106378341912014X

Гращенко А.С., Кукушкин С.А.

^1,2, Осипов А.В.

¹Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербург, Россия Institute for Problems in Mechanical Engineering of the Russian Academy of Sciences, St. Petersburg, Russia

Institute for Problems in Mechanical Engineering of the Russian Academy of Sciences, St. Petersburg, Russia

²Российский государственный педагогический университет им. А.И. Герцена, Санкт-Петербург, Россия Herzen State Pedagogical University of Russia, St. Petersburg, Russia

Herzen State Pedagogical University of Russia, St. Petersburg, Russia

Email: sergey.a.kukushkin@gmai.com, asgrashchenko@bk.ru

Поступила в редакцию: 16 июля 2019 г.

В окончательной редакции: 16 июля 2019 г.

Принята к печати: 25 июля 2019 г.

Выставление онлайн: 19 ноября 2019 г.

PDF версия

Исследованы упругие свойства наномасштабной пленки карбида кремния, выращенной на кремниевой подложке методом замещения атомов. Впервые методом наноиндентирования измерен модуль Юнга наномасштабного карбида кремния. Методами оптической профилометрии и спектральной эллипсометрии исследованы структурные характеристики пленки карбида кремния на кремнии, а именно, рассчитана шероховатость пленки и ее толщина. Ключевые слова: наноиндентирование, атомное замещение, карбид кремния, карбид кремния на кремнии, модуль Юнга.

A.C. Fischer-Cripps. Naation. Heidelberg, Springer (2011). 277 p
A.S. Grashchenko, S.A. Kukushkin, A.V. Osipov. Tech. Phys. Lett. 40, 1114 (2014)
A.S. Grashchenko, S.A. Kukushkin, A.V. Osipov. Mater. Phys. Mech. 24, 35 (2015)
А.Р. Шугуров, А.В. Панин, К.В. Оскомов. ФТТ 50, 1007 (2008)
С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. ФТТ 50, 1188 (2008)
S.A. Kukushkin, A.V. Osipov. J. Appl. Phys. 113, 4909 (2013)
S.A. Kukushkin, A.V. Osipov. J. Phys. D 47, 313001 (2014)
H. Hertz. Z. Reine Angew. Mathematik 92, 156 (1881)
W.C. Oliver, G.M. Pharr. J. Mater. Res. 7, 1564 (1992)
M.F. Doerner, W.D. Nix. J. Mater Res. 1, 601 (1986)
A.S. Grashchenko, S.A. Kukushkin, A.V. Osipov, A.V. Redkov. J. Phys. Chem. Solids 102, 151 (2017)
M. Losurdo, K. Hingerl. Ellipsometry at the Nanoscale. Springer (2013)
С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. ФТП 47, 1575 (2013)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель