Физика твердого тела
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Исследование упругих свойств пленок SiC, синтезированных на подложках Si методом замещения атомов
Переводная версия: 10.1134/S106378341912014X 
Гращенко А.С., Кукушкин С.А.
1,2, Осипов А.В.
1Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербург, Россия 
2Российский государственный педагогический университет им. А.И. Герцена, Санкт-Петербург, Россия
2Российский государственный педагогический университет им. А.И. Герцена, Санкт-Петербург, Россия
Email: sergey.a.kukushkin@gmai.com, asgrashchenko@bk.ru
Поступила в редакцию: 16 июля 2019 г.
В окончательной редакции: 16 июля 2019 г.
Принята к печати: 25 июля 2019 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2019 г.
Исследованы упругие свойства наномасштабной пленки карбида кремния, выращенной на кремниевой подложке методом замещения атомов. Впервые методом наноиндентирования измерен модуль Юнга наномасштабного карбида кремния. Методами оптической профилометрии и спектральной эллипсометрии исследованы структурные характеристики пленки карбида кремния на кремнии, а именно, рассчитана шероховатость пленки и ее толщина. Ключевые слова: наноиндентирование, атомное замещение, карбид кремния, карбид кремния на кремнии, модуль Юнга.
- A.C. Fischer-Cripps. Naation. Heidelberg, Springer (2011). 277 p
- A.S. Grashchenko, S.A. Kukushkin, A.V. Osipov. Tech. Phys. Lett. 40, 1114 (2014)
- A.S. Grashchenko, S.A. Kukushkin, A.V. Osipov. Mater. Phys. Mech. 24, 35 (2015)
- А.Р. Шугуров, А.В. Панин, К.В. Оскомов. ФТТ 50, 1007 (2008)
- С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. ФТТ 50, 1188 (2008)
- S.A. Kukushkin, A.V. Osipov. J. Appl. Phys. 113, 4909 (2013)
- S.A. Kukushkin, A.V. Osipov. J. Phys. D 47, 313001 (2014)
- H. Hertz. Z. Reine Angew. Mathematik 92, 156 (1881)
- W.C. Oliver, G.M. Pharr. J. Mater. Res. 7, 1564 (1992)
- M.F. Doerner, W.D. Nix. J. Mater Res. 1, 601 (1986)
- A.S. Grashchenko, S.A. Kukushkin, A.V. Osipov, A.V. Redkov. J. Phys. Chem. Solids 102, 151 (2017)
- M. Losurdo, K. Hingerl. Ellipsometry at the Nanoscale. Springer (2013)
- С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. ФТП 47, 1575 (2013)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
