Вышедшие номера
Home » Физика твердого тела » Год 2019, выпуск 12 » Статья стр. 2369
<<<>>>
Морфология поверхности, микроструктура и пьезоэлектрический отклик перовскитовых островков в тонких пленках цирконата-титаната свинца
DOI: 10.21883/FTT.2019.12.48556.13ks
Переводная версия: 10.1134/S1063783419120424
Министерство образования и науки Российской Федераци, № 16.2811.2017/4.6
Пронин И.П. 1,2, Каптелов Е.Ю. 1,2, Сенкевич С.В. 1,2, Киселев Д.А. 2,3, Осипов В.В. 1, Пронин В.П.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Российский государственный педагогический университет им. А.И. Герцена, Санкт-Петербург, Россия
3Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия
Email: Petrovich@mail.ioffe.ru, kaptelov@mail.ioffe.ru, SenkevichSV@ mail.ioffe.ru, dm.kiselev@misis.ru, shao_98@mail.ru, thphys@herzen.spb.ru
Поступила в редакцию: 16 июля 2019 г.
В окончательной редакции: 16 июля 2019 г.
Принята к печати: 25 июля 2019 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2019 г.
PDF версия
Исследованы особенности микроструктуры и пьезоэлектрического отклика перовскитовых островков в матрице пирохлорной фазы в тонких пленках цирконата-титаната свинца, сформированных методом высокочастотного магнетронного распыления. Выявлена радиальная неоднородность морфологии поверхности островков и пьезоотклика. Обсуждается роль двумерных механических напряжений, действующих на тонкую пленку со стороны кремниевой подложки. Ключевые слова: высокочастотное магнетронное распыление, тонкие пленки цирконата-титаната свинца, перовскитовые островки, силовая микроскопия пьезоотклика
  1. К.А. Воротилов, В.М. Мухортов, А.С. Сигов. Энергоатомиздат, М. (2011). 175 с
  2. D.L. Polla. Microelectron. Eng. 29, 51 (1995)
  3. N. Izyumskaya, Y.-I. Alivov, S.-J. Cho, H. Morkoc, H. Lee, Y.-S. Kang. Critical Rev. Solid State Mater. Sci. 32, 111 (2007)
  4. W. Eerenstein, N.D. Mathur, J.F. Scott. Nature 442, 759 (2006)
  5. J.-S. Yang, Y.-S. Kang, I.-Y. Kang, S.-M. Lim, S.-J. Shin, J.-W. Lee, K.-H. Hur. IEEE Transact. ultrason. Ferroelectr. Frequency Control 64, 617 (2017)
  6. Б. Яффе, У. Кук, Г. Яффе. Пьезоэлектрическая керамика. Мир, М. (1974). 288 с
  7. Yu. Xu Ferroelectric materials and their applications. N. Holland--Amsterdam--London--N. Y.--Tokyo (1991). 391 p
  8. R. Bruchhaus, D. Pitzer, M. Schreiter, W. Wersing. J. Electroceram. 3, 151 (1999)
  9. Sh. Sun, Y.-M. Wang, P.A. Fuierer, B.A. Tuttle. Integrated Ferroelectrics 23, 25 (1999)
  10. В.В. Осипов, Д.А. Киселев, Е.Ю. Каптелов, С.В. Сенкевич, И.П. Пронин. ФТТ 57, 1748 (2015)
  11. E. Khomyakova, M. Sadl, H. Ursic, J. Daniels, B. Malic, A. Bencan, D. Damjanovic, T. Rojac. ACS Appl. Mater. Interfaces 8, 19626 (2016)
  12. T. Ogawa, A. Senda, T. Kasanami. Jpn. J. Appl. Phys. 30, 2145 (1991)
  13. K. Ijima, R. Takayama, Y. Tomita, I. Ueda. J. Appl. Phys. 60, 2914 (1986)
  14. И.П. Пронин, Е.Ю. Каптелов, А.В. Гольцев, В.П. Афанасьев. ФТТ 45, 1685 (2003)
  15. S. Buhlmann, B. Dwir, J. Baborowski, P. Muralt. Appl. Phys. Lett. 80, 3195 (2002)
  16. F. Sun, G. Tian, C. Chen, X. Deng, P. Li, Z. Chen, W. Yang, X. Gao, Z. Fan, M. Qin, M. Zeng, X. Lu, G. Zhou, D. Chen, J.-M. Liu. Ceram. Int. 44, 21725 (2018)
  17. И.П. Пронин, Е.Ю. Каптелов, С.В. Сенкевич, В.А. Климов, Н.В. Зайцева, Т.А. Шаплыгина, В.П. Пронин, С.А. Кукушкин. ФТТ 52, 124 (2010)
  18. A.L. Kholkin, K.G. Brooks, D.V. Taylor, S. Hiboux, N. Setter. Integrated Ferroelectrics 22, 525 (1998)
  19. В.П. Пронин, С.В. Сенкевич, Е.Ю. Каптелов, И.П. Пронин. ФТТ 55, 92 (2013)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme