Получена серия образцов градиентно-пористых структур кремния с кристаллографическими ориентациями (100) и (111) методом глубокого анодного травления. Показаны зависимости скорости глубокого анодного травления и глубины пористого слоя образцов от плотности анодного тока. Исследованы коэффициенты поглощения и отражения образцов методом оптической спектрометрии в зависимости от их кристаллографической ориентации и глубины пористого слоя. Определено влияние водных растворов на оптические свойства образцов. Ключевые слова: пористый кремний, ГПК-Var, анодное травление, коэффициент отражения.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.