Вышедшие номера
Зависимость свойств вариативных градиентно-пористых структур кремния от метода формирования
Переводная версия: 10.1134/S1063783419120461
Рубцова К.И.1, Силина М.Д.1
1Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия
Email: rubcova.karina@gmail.com
Поступила в редакцию: 16 июля 2019 г.
В окончательной редакции: 16 июля 2019 г.
Принята к печати: 25 июля 2019 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2019 г.

Получена серия образцов градиентно-пористых структур кремния с кристаллографическими ориентациями (100) и (111) методом глубокого анодного травления. Показаны зависимости скорости глубокого анодного травления и глубины пористого слоя образцов от плотности анодного тока. Исследованы коэффициенты поглощения и отражения образцов методом оптической спектрометрии в зависимости от их кристаллографической ориентации и глубины пористого слоя. Определено влияние водных растворов на оптические свойства образцов. Ключевые слова: пористый кремний, ГПК-Var, анодное травление, коэффициент отражения.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.