Электронографическое изучение структуры эпитаксиального графена, сформированного путем термического разложения SiC(0001) в атмосфере Ar и в высоком вакууме
Котоусова И.С.
1, Лебедев С.П.
1, Лебедев А.А.
1,2, Булат П.В.
3
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
3Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия
Email: koti@mail.ioffe.ru, shura.lebe@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 28 марта 2019 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2019 г.
Исследована структура эпитаксиального графена, полученного в результате термодеструкции поверхности карбида кремния в условиях вакуумного синтеза и в среде Ar, методом электронографии на отражение. В результате проведенного исследования установлено значительно более однородное покрытие буферного слоя на поверхности SiC графеном при формировании его в инертной среде на поверхности политипов 4H- и 6H-SiC(0001) по сравнению с синтезом графена в вакууме. Показана зависимость качества покрытия от степени совершенства исходного монокристалла. Ключевые слова: графен, карбид кремния, термодеструкция, электронография.
- I.S. Kotousova, S.P. Lebedev, A.A. Lebedev, P.V. Bulat. Phys. Solid State 60, 1419 (2018)
- S.P. Lebedev, V.N. Petrov, I.S. Kotousova, A.A. Lavrent'ev, P.A. Dement'ev, A.A. Lebedev, A.N. Titkov. Mater. Sci. Forum 679, 437 (2011)
- A.J. Van Bommel, J.E. Crombeen, A. Van Tooren. Surf. Sci. 48, 463 (1975)
- X.N. Xie, H.Q. Wang, A.T.S. Wee, K.P. Loh. Surf. Sci. 478, 57 (2001)
- A.N. Hattori, T. Okamoto, S. Sadakuni, J. Murata, K. Arima, Y. Sano, K. Yamauchi. Surf. Sci. 605, 597 (2011)
- Y. Hu, D. Shi, Y. Hu, H. Zhao, X. Sun. Materials 11, 2022 (2018)
- М.Д. Вилисова, И.В. Ивонин, Л.Г. Лаврентьева, С.В. Субач, М.П. Якубеня, В.В. Преображенский, В.В. Чалдышев. ФТП 33, 900 (1999)
- T. Malin, A. Gilinsky, V. Mansurov, D. Protasov, E. Yakimov, K. Zhuravlev. Phys. Status Solidi C 12, 447 (2015)
- А.А. Лебедев, И.С. Котоусова, А.А. Лаврентьев, С.П. Лебедев, И.В. Макаренко, В.Н. Петров, А.Н. Титков. ФТТ 51, 783 (2009)
- C. Berger, T. Li, X. Li, A.Y. Ogbazghi, R. Feng, W.A. De Heer. J. Phys. Chem. B 108, 19912 (2004)
- I.S. Kotousova, S.P. Lebedev, A.A. Lebedev. Trans Tech Publicatios. Mater. Sci. Forum 821, 945 (2015)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.