Издателям
Вышедшие номера
Моделирование напряженного состояния пластин кремния большого диаметра в процессе термического отжига
Меженный М.В.1, Мильвидский М.Г.1, Простомолотов А.И.1
1Государственный научно-исследовательский институт редкометаллической промышленности "ГИРЕДМЕТ", Москва, Россия
Поступила в редакцию: 11 марта 2003 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2003 г.

Сформулирована и решена в изотропном приближении трехмерная задача определения поля напряжений и деформаций в бездислокационных пластинах кремния диаметром 200 и 300 mm, располагающихся горизонтально на трех симметрично расположенных опорах, в условиях действия гравитационных сил и термических напряжений. Показано, что в случае действия гравитационных сил пластина в целом наименее напряжена при расположении опор на расстоянии 0.6-0.7R от центра пластины. Рассчитаны поля сдвиговых напряжений для всех возможных систем скольжения. Установлено, что для пластин диаметром 300 mm даже при радиальном перепаде температуры 10 K решающую роль в формировании поля упругих напряжений играют гравитационные силы. В пластинах диаметром 200 mm при таком перепаде температур вклад термических напряжений соизмерим с вкладом гравитационных сил. При радиальных перепадах температур менее 5 K вкладом термических напряжений можно пренебречь и в случае пластин диаметром 200 mm. Исходя из полученных значений максимальных сдвиговых напряжений, нельзя исключать возможность генерации дислокаций в пластинах в области контакта с опорами в процессах высокотемпературного отжига пластин диаметром 200 mm и особенно пластин диаметром 300 mm. Работа поддержана Российским фондом фундаментальных исследований (грант N 01-02-16816).
  • H. Katsumata, H. Ito, H. Takahashi, T. Ohashi, S. Tobashi, K. Iwata. United State Patent N 6250914 (2000)
  • M. Hatta. United State Patent N 6032724 (1997)
  • H.-S. Kyung, W.-S. Choi, J.-H. Shin. United State Patent N 5791895 (1996)
  • K.E. Johnsgard, B.S. Mattson, J. McDiarmid. United State Patent N 6002109 (1995)
  • A. Fisher, G. Richter, W. Kurner, P. Kucher. J. Appl. Phys. 87, 1543 (2000)
  • O.H. Nielsen. Prop. of Silica. EMIS Datarev. Ser. 14 (1987)
  • Б. Боли, Дж. Уэйнер. Теория температурных напряжений. Мир, М. (1964)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.