Зарядка диэлектриков при бомбардировке ионами Ar+ средних энергий
Российского фонда фундаментальных исследований (РФФИ), 18-02-00813A
Миннебаев К.Ф.1, Рау Э.И.1, Татаринцев А.А.1,2
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Физико-технологический институт Российской академии наук, Москва, Россия
Email: rau@phys.msu.ru, tatarintsev@physics.msu.ru
Поступила в редакцию: 15 января 2019 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2019 г.
Создана комплексная установка для измерения кинетики высоковольтных потенциалов зарядки поверхности массивных диэлектриков при их облучении ионами Ar+ средних энергий. Измерения ионно-эмиссионных характеристик, аккумулируемых зарядов и поверхностного потенциала показали эффективную зарядку до высоких положительных потенциалов, близких по значению к потенциалу ионной пушки. Предположено, что на ранней стадии зарядки в процессе эмиссии доминируют распыленные ионы, а в конечной стадии облучения - обратноотраженные. Работа выполнена в рамках проекта РФФИ 18-02-00813А.
- И.А. Аброян, М.А. Еремеев, Н.Н. Петров. УФН 95, 105 (1967)
- H. Winter. Prog. Surf. Sci. 63, 177 (2000)
- R. Souda. Phys. Rev. Lett. 82, 1570 (1999)
- Г.М. Батанов. Радиотехника и электроника 5, 852 (1963)
- D.N. Vance. J. Appl. Phys. 42, 5430 (1971)
- Yu.V. Petrov, A.E. Anikeeva, O.F. Vyvenko. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B 425, 11 (2018)
- Э.И. Рау, Е.Н. Евстафьева, М.В. Андрианов. ФТТ 50, 599 (2008)
- E.I. Rau, A.A. Tatarintsev, V.V. Khvostov, V.E. Yurasova. Vacuum 129, 142 (2015)
- Э.И. Рау, А.А. Татаринцев, Е.Ю. Зыкова, И.П. Иваненко, С.Ю. Купреенко, К.Ф. Миннебаев, А.А. Хайдаров. ФТТ 59, 1504 (2017)
- A. Hoffman, S. Prawer, R. Kalish. Phys. Rev. B 45, 12736 (1992)
- R.A. Baragiola, M. Shi, R. Vidal, C. Dukes. Phys. Rev. B 58, 13212 (1998)
- J. Shi, M. Fama, B. Teolis, R.A. Baragiola. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B 268, 2888 (2010)
- S. Yogev, J. Levin, M. Molotskii, A. Schwarzman, O. Avayu, Y. Rosenwaks. J. Appl. Phys. 103, 064107 (2008)
- T. Nagatomi, T. Kuwayama, Y. Takai, K. Yoshino, Y. Morita, M. Kitayama, M. Nishitani. Appl. Phys. Lett. 92, 084104 (2008).
- K. Ohya. J. Vac. Sci. Technol. B 32, 06FC01-1-8 (2014)
- F. Lefebre, J. Vigouroux, J. Perreau. J. Appl. Phys. 65, 1683 (1989)
- N.W. Green, J.R. Dennison. IEEE Trans. Plasma Sci. 36, 2482 (2008)
- F. Croccolo, C. Riccardi. J. Microscopy 229, 39 (2008)
- M.J. Zoory, I.A. Mohammed, B.J. Alwan. J. Chem. Biol. Phys. Science 5, 2822 (2015)
- Y. Yamamura, J. Bohdansky. Vacuum 35, 561 (1985)
- В.В. Громов. Электрический разряд в облученных материалах. Энергоиздат, М. (1982). 112 с.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
