Вышедшие номера
Зарядка диэлектриков при бомбардировке ионами Ar+ средних энергий
Переводная версия: 10.1134/S1063783419060118
Российского фонда фундаментальных исследований (РФФИ), 18-02-00813A
Миннебаев К.Ф.1, Рау Э.И.1, Татаринцев А.А.1,2
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Физико-технологический институт Российской академии наук, Москва, Россия
Email: rau@phys.msu.ru, tatarintsev@physics.msu.ru
Поступила в редакцию: 15 января 2019 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2019 г.

Создана комплексная установка для измерения кинетики высоковольтных потенциалов зарядки поверхности массивных диэлектриков при их облучении ионами Ar+ средних энергий. Измерения ионно-эмиссионных характеристик, аккумулируемых зарядов и поверхностного потенциала показали эффективную зарядку до высоких положительных потенциалов, близких по значению к потенциалу ионной пушки. Предположено, что на ранней стадии зарядки в процессе эмиссии доминируют распыленные ионы, а в конечной стадии облучения - обратноотраженные. Работа выполнена в рамках проекта РФФИ 18-02-00813А.
  1. И.А. Аброян, М.А. Еремеев, Н.Н. Петров. УФН 95, 105 (1967)
  2. H. Winter. Prog. Surf. Sci. 63, 177 (2000)
  3. R. Souda. Phys. Rev. Lett. 82, 1570 (1999)
  4. Г.М. Батанов. Радиотехника и электроника 5, 852 (1963)
  5. D.N. Vance. J. Appl. Phys. 42, 5430 (1971)
  6. Yu.V. Petrov, A.E. Anikeeva, O.F. Vyvenko. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B 425, 11 (2018)
  7. Э.И. Рау, Е.Н. Евстафьева, М.В. Андрианов. ФТТ 50, 599 (2008)
  8. E.I. Rau, A.A. Tatarintsev, V.V. Khvostov, V.E. Yurasova. Vacuum 129, 142 (2015)
  9. Э.И. Рау, А.А. Татаринцев, Е.Ю. Зыкова, И.П. Иваненко, С.Ю. Купреенко, К.Ф. Миннебаев, А.А. Хайдаров. ФТТ 59, 1504 (2017)
  10. A. Hoffman, S. Prawer, R. Kalish. Phys. Rev. B 45, 12736 (1992)
  11. R.A. Baragiola, M. Shi, R. Vidal, C. Dukes. Phys. Rev. B 58, 13212 (1998)
  12. J. Shi, M. Fama, B. Teolis, R.A. Baragiola. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B 268, 2888 (2010)
  13. S. Yogev, J. Levin, M. Molotskii, A. Schwarzman, O. Avayu, Y. Rosenwaks. J. Appl. Phys. 103, 064107 (2008)
  14. T. Nagatomi, T. Kuwayama, Y. Takai, K. Yoshino, Y. Morita, M. Kitayama, M. Nishitani. Appl. Phys. Lett. 92, 084104 (2008).
  15. K. Ohya. J. Vac. Sci. Technol. B 32, 06FC01-1-8 (2014)
  16. F. Lefebre, J. Vigouroux, J. Perreau. J. Appl. Phys. 65, 1683 (1989)
  17. N.W. Green, J.R. Dennison. IEEE Trans. Plasma Sci. 36, 2482 (2008)
  18. F. Croccolo, C. Riccardi. J. Microscopy 229, 39 (2008)
  19. M.J. Zoory, I.A. Mohammed, B.J. Alwan. J. Chem. Biol. Phys. Science 5, 2822 (2015)
  20. Y. Yamamura, J. Bohdansky. Vacuum 35, 561 (1985)
  21. В.В. Громов. Электрический разряд в облученных материалах. Энергоиздат, М. (1982). 112 с.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.