Кинетика точечных дефектов и процессы аморфизации в тонких пленках при облучении
Овидько И.А.1, Рейзис А.Б.1
1Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: ovidko@def.ipme.ru
Поступила в редакцию: 11 февраля 2003 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2003 г.
Предложена теоретическая модель для описания эволюции ансамбля точечных дефектов (вакансий и межузельных атомов) и ее влияния на процессы твердофазной аморфизации в облучаемых кристаллических тонких пленках. Предлагаются уравнения кинетики точечных дефектов в облучаемых тонких пленках в случае отсутствия ионной имплантации. С помощью численного решения данного кинетического уравнения проведен расчет температурной зависимости "дозы начала аморфизации", которая сравнивается с соответствующими экспериментальными данными. Настоящая работа выполнена при частичной поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант N 01-02-16853) и программы "Интеграция" (грант Б0026).
- H. Abe, Sh. Yamamoto, H. Naramoto, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B127/128, 170 (1997)
- В.А. Скуратов, А.Е. Ефимов, Д.Л. Загорский. ФТТ 44, 1, 165 (2002)
- В.Р. Галахов, Д.А. Зацепин, Л.В. Елохина, Т.А. Белых, Е.А. Козлов, С.В. Наумов, В.Л. Арбузов, К.В. Шальнов, М. Нойманн. ФТТ 44, 7, 1318 (2002)
- F. Banhart. ФТТ 44, 3, 388 (2002)
- D. Pacifici, E.C. Moriera, G. Franzo, V. Martorino, F. Priolo F. Iacona. Phys. Rev. B 65, 14, 144 109 (2002)
- J. Yamasaki, Seiji Takeda, K. Tsuda. Phys. Rev. B 65, 11, 115 213 (2002)
- S.X. Wang, L.M. Wang, R.C. Ewing. Phys. Rev. B 63, 115 213 (2000)
- A. Meldrum, L.A. Boatner, R.C. Ewing. Phys. Rev. Lett. 88, 2, 025 503 (2002)
- D.F. Pedraza. J. Less--Common Met. 140, 219 (1988)
- M. Rose, G. Gorzawski, G. Miehe, A.G. Balogh, H. Hahn. Nanostruct. Mater. 6, 731 (1995)
- M. Rose, A.G. Balogh, H. Hahn. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B127/128, 119 (1997)
- Г.А. Малыгин. УФН 169, 9, 979 (1999)
- Г.А. Малыгин. ФТТ 44, 11, 1979 (2002)
- В.И. Владимиров. Физическая теория пластичности и прочности. Ч. II. Точечные дефекты. Упрочнение и возврат. Изд-во ЛПИ, Л. (1975)
- Ю.В. Трушин. Физические основы радиационного материаловедения. Изд-во СПбГТУ, СПб (1998). 81 с
- И.А. Овидько, А.Б. Рейзис. Неорган. материалы 35, 6, 766 (1999)
- I.A. Ovid'ko, A.B. Reizis. J. Phys. D32, 22, 2833 (1999)
- М.Ю. Гуткин, И.А. Овидько. Дефекты и механизмы пластичности в нанокристаллических и некристаллических материалах. Янус, СПб (2001). 178 с
- M.Yu. Gutkin, I.A. Ovid'ko. Phys. Rev. B 63, 6, 064515 (2001)
- Ж. Фридель. Дислокации. Мир, М. (1967). 643 с
- R.G. Morris. J. Appl. Phys. 50, 10, 3250 (1979)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.