Особенности структуры и физико-механических свойств наноструктурных тонких пленок
Штанский Д.В.1, Кулинич С.А.2, Левашов Е.А.1, Moore J.J.3
1Московский государственный институт стали и сплавов (Технологический университет), Москва, Россия
2National Institute for Materials Science, Sakura 3-13, Tsukuba 30, Japan
3Colorado School of Mines, Golden, Colorado, USA
Email: shtansky@shs.misis.ru
Поступила в редакцию: 8 октября 2002 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2003 г.
Описаны особенности структуры и механических свойств наноструктурных тонких пленок на основе карбидов, нитридов и боридов переходных металлов. Выполнен сравнительный анализ механизмов локализованной деформации пленок при наноиндентировании. Показано, что для прогнозирования склонности материала к образованию полос сдвига при деформации может использоваться параметр H3/E2, описывающий сопротивление материала пластической деформации. Установлено, что столбчатая природа пленок играет важную роль при деформации, осуществляемой путем скольжения столбчатых элементов структуры параллельно приложенной нагрузке. Работа выполнена при поддержке программы МНТЦ (проект N 1852).
- D.V. Shtansky, K. Kaneko, Y. Ikuhara, E.A. Levashov. Surf. Coat. Technol. 148, 2--3, 204 (2001)
- Д.В. Штанский, Е.А. Левашов. Изв. вузов. Цв. металлургия 3, 52 (2001)
- D.V. Shtansky, E.A. Levashov, A.N. Sheveiko, J.J. Moore. J. Mater. Synth. Proc. 7, 3, 187 (1999)
- D.V. Shtansky, E.A. Levashov, A.N. Sheveiko, J.J. Moore. J. Mater. Synth. Proc. 6, 1, 61 (1998)
- A. Niederhofer, P. Nesladek, H.-D. Mannling, K. Moto, S. Vepv rek, M. Jilek. Surf. Coat. Technol. 120--121, 173 (1999)
- A. Leyland, A. Matthews. Wear 246, 1--2, 1 (2000)
- S. Vеpv rek. J. Vac. Sci. Technol. A 17, 5, 2401 (1999)
- J. Musil. Surf. Coat. Technol. 125, 1--3, 322 (2000)
- Р.А. Андриевский, Г.В. Калинников, Д.В. Штанский. ФТТ 42, 4, 741 (2000)
- S. Vepv rek, S. Reiprich. Thin Solid Films 268, 1--2, 64 (1995)
- R.A. Andrievski, G.V. Kalinnikov, D.V. Shtansky. In: Nanophase and Nanocomposite Materials III / Ed. S. Komarneni, Y. Parker, H. Hahn. Mat. Res. Soc. Symp. Proc. (2000). V. 581. P. 583
- R.A. Andrievski, G.V. Kalinnikov, J. Jauberteau, J. Bates. J. Mater. Sci. 35, 11, 2799 (2000)
- R.A. Andrievsky, G.V. Kalinnikov. Surf. Coat. Technol. 142--144, 573 (2001)
- D.V. Shtansky, S.A. Kulinich, E.A. Levashov, A.N. Sheveiko, F.V. Kiriuhancev, J.J. Moore. Thin Solid Films 420--421C, 324 (2002)
- В.А. Мовчан, А.В. Демчишин. ФММ 83, 83 (1969)
- J.A. Thornton. J. Vac. Sci. Technol. 11, 4, 666 (1974)
- Е.А. Левашов, А.С. Рогачев, В.И. Юхвид, И.П. Боровинская. Физико-химические и технологические основы самораспространяющегося высокотемпературного синтеза. БИНОМ, М. (1999). 176 с
- W.C. Oliver, G.M. Pharr. J. Mater. Res. 7, 6, 1564 (1992)
- H. Ljungcrantz, C. Engstrom, L. Hultman, M. Olsson, X. Chu, M.S. Wong, W.D. Sproul. J. Vac. Sci. Technol. A 16, 5, 3104 (1998)
- V.I. Trofimov, V.A. Osadchenko. Sov. J. Technol. 60, 8, 540 (1993)
- T.Y. Tsui, G.M. Pharr, W.C. Oliver, C.S. Bhatia, R.L. White, S. Anders, A. Anders, I.G. Brown. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 383, 447 (1995)
- K.L. Johnson. Contact Mechanics. Ist ed. Cambridge University Press, Cambridge (1985). P. 155
- Р.А. Андриевский, Г.В. Калинников, Н.П. Кобелев, Я.М. Сойфер, Д.В. Штанский. ФТТ 39, 10, 1859 (1997)
- J. Musil, H. Hruby. Thin Solid Films 365, 1, 104 (2000)
- J. Musil, F. Kunc, H. Zeman, H. Polakova. Surf. Coat. Technol. 154, 2--3, 304 (2002)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
