Издателям
Вышедшие номера
Исследование изолирующей области планарных сверхпроводниковых YBCO-структур, формируемых методом задающей маски
Переводная версия: 10.1134/S1063783418110215
Мастеров Д.В.1, Павлов С.А.1, Парафин A.Е.1, Скороходов Е.В.1, Юнин П.А.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: parafin@ipmras.ru
Выставление онлайн: 20 октября 2018 г.

Рассмотрено развитиe нового способа формирования планарных структур на основе высокотемпературного сверхпроводника YBCO --- метода "задающей маски". Суть метода заключается в том, что на исходной подложке создается маска, а после осаждения YBCO сверхпроводящие элементы оказываются сформированными в заданных локальных окнах маски, а между ними образуются разделительные области. Такие условия роста позволяют получать сверхпроводящие элементы микронного размера с высокими электрофизическими параметрами и гладкой поверхностью. Исследовано влияние параметров задающей маски из аморфного оксида церия на изолирующие свойства получаемых разделительных областей при изготовлении планарных структур на подложках из сапфира и фианита с эпитаксиальными подслоями оксида церия. Работа поддержана РНФ, проект N 16-19-10478. Использовано оборудование ЦКП "Физика и технология микро- и наноструктур".
  1. E. Il'ichev, L. Dorrer, F. Schmidl, V. Zakosarenko, P. Seidel, G. Hildebrandt. Appl. Phys. Lett. 68, 708, (1996)
  2. M.I. Faley, U. Poppe, K. Urban, V.Yu. Slobodchikov, Yu.V. Maslennikov, A. Gapelyuk, B. Sawitzki, A. Schirdewan. Appl. Phys. Lett. 81, 2406, (2002)
  3. W. Lang, M. Marksteiner, M.A. Bodea, K. Siraj, J.D. Pedarnig, R. Kolarova, P. Bauer, K. Haselgrubler, C. Hasenfuss, I. Beinik, C. Teichert. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. 272, 300, (2012)
  4. M. Malnou, C. Feuillet-Palma, C. Ulysse, G. Faini, P. Febvre, M. Sirena, L. Olanier, J. Lesueur, N. Bergeal. J. Appl. Phys. 116, 074505 (2014)
  5. D.V. Masterov, A.E. Parafin, L.S. Revin, A.V. Chiginev, E.V. Skorokhodov, P.A. Yunin, A.L. Pankratov. Supercond. Sci. Technol., 30, 025007, (2017)
  6. Сeraco ceramic coating GmbH. Data sheet HTS coatings. http://www.ceraco.de/hts-films
  7. L.S. Revin, A.L. Pankratov, A.V. Chiginev, D.V. Masterov, A.E. Parafin, S.A. Pavlov. Proc. of 16th (ISEC'2017) DOI: 10.1109/ISEC.2017.8314206
  8. A.M. Klushin, M. He, S.L. Yan, N. Klein. Appl. Phys. Lett. 89, 232505, (2006)
  9. P.V. Komissinski, E. Il'ichev, G.A. Ovsyannikov, S.A. Kovtonyuk, M. Grajcar, R. Hlubina, Z. Ivanov, Y. Tanaka, N. Yoshida, S. Kashiwaya. Europhys. Lett., 57, 585 (2002)
  10. Д.В. Мастеров, С.А. Павлов, А.Е. Парафин, П.А. Юнин. ПЖТФ 42, 82, (2016)
  11. Ю.Н. Дроздов, Д.В. Мастеров, С.А. Павлов, А.Е. Парафин, П.А. Юнин. ЖТФ 85, 109, (2015)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.