Издателям
Вышедшие номера
Начальные стадии роста пленок цирконата-титаната бария и станната-титаната бария на монокристаллических подложках сапфира и карбида кремния
Переводная версия: 10.1134/S1063783418100293
РФФИ, 16-07-0061
РФФИ, 16-29-051
РФФИ, 18-37- 00348
Минобрнауки России, 3.3990.2017/4.6
Тумаркин А.В. 1, Злыгостов М.В.1, Серенков И.Т.2, Сахаров В.И.2, Афросимов В.В.2, Одинец А.А.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: avtumarkin@yandex.ru
Поступила в редакцию: 9 апреля 2018 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2018 г.

Впервые исследованы начальные стадии роста сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната бария и станната-титаната бария на подложках монокристаллического сапфира и карбида кремния. Выбор подложек обусловлен возможностью применения данных структур в сверхвысокочастотных устройствах. Показано, что рост островковых пленок BaZrxTi1-xO3 происходит посредством механизма массопереноса частиц через газовую фазу во всем исследуемом температурном диапазоне. При конденсации BaSnxTi1-xO3 пленок в температурной области ~800oC происходит смена механизма массопереноса с поверхностной диффузии на диффузию через газовую фазу, кроме того наблюдается существенная разница в компонентном составе пленок на сапфире и карбиде кремния. Отмечено, что при росте оксидных пленок на поверхности подложки карбида кремния образуется промежуточный слой SiO2, толщина которого зависит от температуры осаждения. А.В. Тумаркин, М.В. Злыгостов и А.А. Одинец выражают благодарность за финансовую поддержку РФФИ в рамках научных проектов 16-07-00617, 16-29-0514, 18-37-00348 и Минобрнауки России (государственное задание N 3.3990.2017/4.6).
  • A. Ahmed, I.A. Goldthorpe, A.K. Khandani. Appl. Phys. Rev. 2, 011302 (2015)
  • C.J.G. Meyers, Ch.R. Freeze, S. Stemmer, R.A. York. Appl. Phys. Lett. 109, 112902 (2016)
  • P.S. Krishnaprasad, A. Antony, F. Rojas, M.K. Jayaraj. J. Appl. Phys. 117, 124102 (2015)
  • C. Luo, J. Ji, F. Ling, D. Li, J. Yao. J. Alloys Comp. 687, 458 (2016)
  • А.В. Тумаркин, Е.Р. Тепина, Е.А. Ненашева, Н.Ф. Картенко, А.Б. Козырев. ЖТФ 82, 53 (2012)
  • О.Ю. Буслов, В.Н. Кейс, A.Б. Козырев, И.В. Котельников, П.В. Кулик. ЖТФ 75, 89 (2005)
  • А.Б. Козырев, А.В. Иванов, О.И. Солдатенков, С.В. Разумов, А.В. Тумаркин, С.Ю. Айгунова. ПЖТФ 27, 16 (2001)
  • А.Б. Козырев, М.М. Гайдуков, А.Г. Гагарин, А.В. Тумаркин, С.В. Разумов. ПЖТФ 28, 51 (2002)
  • A.V. Tumarkin, A.G. Gagarin, A.G. Altynnikov, M.M. Gaidukov, A.A. Odinets, S.V. Razumov, A.B. Kozyrev. Thin Solid Films 593, 189 (2015)
  • A. Tumarkin, V. Stozharov, A. Altynnikov, A. Gagarin, S. Razumov, E. Kaptelov, S. Senkevich, I. Pronin, A. Kozyrev. Integr. Ferroelectrics 173, 140 (2016)
  • S. Hoffmann, R.M. Waser. Integr. Ferroelectrics 17, 141 (1997)
  • D.Y. Wang, P. Yun, Y. Wang, H.L.W. Chan, C.L. Choy. Thin Solid Films 517, 2092 (2009)
  • N. Waldhoff, D. Fasquelle, K. Blary. Appl. Phys. Lett. 105, 132907 (2014)
  • С.А. Кукушкин, В.В. Слезов. Дисперсные системы на поверхности твердых тел. Механизмы образования тонких пленок (эволюционный подход). Наука, СПб. (1996). 304 с
  • S.A. Kukushkin, A.V. Osipov. J. Appl. Phys. 86, 1370 (1999)
  • S.A. Kukushkin. Thin Solid Films 207, 302 (1992)
  • S.A. Kukushkin, A.V. Osipov. Prog. Surf. Sci. 51, 1 (1996)
  • А.В. Тумаркин, И.Т. Серенков, В.И. Сахаров. ФТТ 52, 2397 (2010)
  • А.В. Тумаркин, С.А. Кукушкин, А.В. Осипов, А.В. Анкудинов, А.А. Одинец. ФТТ 57, 796 (2015)
  • А.В. Тумаркин, И.Т. Серенков, В.И. Сахаров, В.В. Афросимов, А.А. Одинец. ФТТ 58, 354 (2016)
  • А.В. Тумаркин, И.Т. Серенков, В.И. Сахаров, С.В. Разумов, А.А. Одинец, М.В. Злыгостов, Е.Н. Сапего, В.В. Афросимов. ФТТ 59, 2352 (2017)
  • V.V. Afrosimov, R.N. Il'in, S.F. Karmanenko, F.F. Melkov, V.I. Sakharov, I.T. Serenkov. Thin Solid Films 492, 146 (2005)
  • J. Roy, S. Chandra, S. Das, S. Maitra. Rev. Adv. Matter. Sci 38, 29 (2014)
  • А.В. Тумаркин, А.А. Одинец. ФТТ 60, 88 (2018)
  • А.В. Тумаркин, В.А. Вольпяс, М.В. Злыгостов, А.А. Одинец, Е.Н. Сапего. Изв. РАН. Сер. физ. 82, 1 (2018)
  • G.V. Belov, V.S. Iorish, V.S. Yungman. CALPHAD: Comput. Coupling Phase Diagrams. Thermochem 23, 173 (1990)
  • И.С. Куликов. Термодинамика оксидов. Металлургия, М. (1986). 344 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.