Издателям
Вышедшие номера
Влияние материала подложки на структуру и электрофизические свойства тонких пленок BaxSr1-xTiO3
Переводная версия: 10.1134/S1063783418050025
РФФИ, конкурс проектов фундаментальных научных исследований , 16-07-00665
РФФИ, конкурс проектов фундаментальных научных исследований , 16-07-00666
Президиум РАН, Наноструктуры: физика, химия, биология, основы технологий
Афанасьев М.С. 1, Киселев Д.А. 1,2, Левашов С.А. 1, Лузанов В.А. 1, Нарышкина В.Г. 1, Сивов А.А.1, Чучева Г.В. 1, Набиев А.Э.3
1Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Фрязино, Россия
2Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия
3Азербайджанский государственный педагогический университет, Баку, Азербайджан
Email: michaela2005@yandex.ru, dm.kiselev@gmail.com, 3d12898@mail.ru, valery@fireras.su, gvc@ms.ire.rssi.ru
Поступила в редакцию: 8 ноября 2017 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2018 г.

Методом высокочастотного распыления получены тонкие пленки BaxSr1-xTiO3 на (111)Pt/(100)Si и SiOx/(100)Si подложках. Установлено, что синтезированные пленки однофазны, обладают поликристаллической структурой. Показано, что подслой платины оказывает влияние на значения шероховатости, средний размер зерен и величину локальной поляризации в тонких пленках BaxSr1-xTiO3. Обсуждаются возможные механизмы полученных результатов, связанных с проводимостью межзеренных границ и природой взаимодействия сегнетоэлектрической пленки с подложкой. Работа выполнена при частичной финансовой поддержке РФФИ (гранты N 16-07-00665 и 16-07-00666) и Программы фундаментальных исследований Президиума РАН Наноструктуры: физика, химия, биология, основы технологий".
  • S. Kawashima, J.S. Cross. In: Embedded Memories for Nano-Scale VLSIs. / Ed. K. Zhang. Springer Science--Business Media Inc, N. Y. (2009). Р. 279
  • К.А. Воротилов, В.М. Мухортов, А.С. Сигов. Интегрированные сегнетоэлектрические устройства. Монография / Под ред. А.С. Сигова. Энергоатомиз, М. (2011). 175 с
  • A. Queralto, A. Perez del Pino, M. de la Mata, J. Arbiol, M. Tristany, A. Gomez, X. Obradors, T. Puig. Appl. Phys. Lett. 106, 262903 (2015)
  • A.N. Kuskova, R.V. Gainutdinov, O.M. Zhigalina. J. Surf. Investigation: X-ray, Synchrotron Neutron Techniques 8, 4, 761 (2014)
  • X.B. Yan, X.L. Jia, T. Yang, J.H. Zhao, Y.C. Li, Z.Y. Zhou, Y.Y. Zhang. Phys. Lett. A 380, 42, 3509 (2016)
  • М.С. Афанасьев, М.С. Иванов. ФТТ 51, 1259 (2009)
  • M.S. Afanas'ev, G.V. Chucheva, A.E. Nabiev. Phys. Solid State 57, 7, 1377 (2015)
  • Е.И. Гольдман, С.А. Левашов, В.Г. Нарышкина, Г.В. Чучева. ФТП 51, 9, 1185 (2017)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.