Физика твердого тела
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Структура и свойства пленок SiOx, полученных химическим травлением лент аморфного сплава
Переводная версия: 10.1134/S1063783418040091 
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), A, 15-01-04553
Федоров В.А.
1, Березнер А.Д.
1, Бескровный А.И.
2, Фурсова Т.Н.
3, Павликов А.В.
4, Баженов А.В.
3
1Тамбовский государственный университет им. Г.Р. Державина, Тамбов, Россия 
2Объединенный институт ядерных исследований, Дубна, Россия
3Институт физики твердого тела РАН, Черноголовка, Россия
4Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Объединенный институт ядерных исследований, Дубна, Россия
3Институт физики твердого тела РАН, Черноголовка, Россия
4Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: fedorov@tsutmb.ru, qwert1009@mail.ru, beskr@nf.jinr.ru, fursova@issp.ac.ru, pavlikov@vega.phys.msu.ru, bazhenov@issp.ac.ru.
Поступила в редакцию: 19 сентября 2017 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2018 г.
Исследовано строение и физические свойства аморфных пленок SiOx, полученных химическим травлением аморфного ленточного сплава на основе железа. Нейтронная дифракция, а также атомно-силовая и электронная микроскопия показали, что полученные визуально прозрачные пленки имеют аморфную структуру, обладают диэлектрическими свойствами, их морфология схожа с морфологией опалов. Образцы до и после их термической обработки были исследованы методами дифференциально-сканирующей калориметрии, рамановской и ИК-спектроскопии. Установлено, что отжиг пленок в воздушной среде при температуре 1273 K приводит к изменению их химического состава: образуется аморфное соединение SiO2 с включениями нанокристаллов SiO2 (кристобалит). Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант N 15-01-04553-a). DOI: 10.21883/FTT.2018.04.45678.271
- A.L. Shabalov, M.S. Feldman. Thin Solid Films 110, 215 (1983)
- V.A. Dan'ko, S.O. Zlobin, I.Z. Indutnyi, I.P. Lisovskyy, V.G. Litovchenko, E.V. Mikhailovskaya, P.E. Shepelyavyi, E.V. Begun. Mod. Electron. Mater. 1, 16 (2015)
- Xiao-Bo Ma, Wei-Jia Zhang, Wei Zhang, Qiang Ma, Zhi-Qiang Fana, Deng-Hao Maa, Zhao-Yi Jianga, Yu-Long Zhanga. Thin Solid Films 624, 21 (2017)
- W. Boonkosum, D. Kruangam, B. Ratwises, T. Sujaridchai, S. Panyakeow, S. Fujikake, H. Sakai. J. Non-Cryst. Solids 198, 1226 (1996)
- D.E. Vazquez Valerdi, J.A. Luna Lopez, G. Garci a Salgado, A. Beni tez Lara, J. Carrillo Lopez, N.D. Espinosa Torres. Procedia Engineering 87, 168 (2014)
- D.G. Howells, B.M. Henry, Y. Leterrier, J.-A.E. M nson, J. Madocks, H.E. Assender. Surf. Coat. Technol. 202, 3529 (2008)
- W. Weibull. ASME J. Appl. Mechanics 297 (1951)
- S.O. El hamali, W.M. Cranton, N. Kalfagiannis, X. Hou, R. Ranson, D.C. Koutsogeorgis. Opt. Lasers Eng. 80, 45 (2016)
- F.J. Himpsel, F.R. McFeely, A. Taleb-Ibrahimi, J.A. Yarmoff, G. Hollinger. Phys. Rev. B: Condens. Matter 38, 6084 (1988)
- А.В. Баженов, А.В. Горбунов, К.А. Алдушин, В.М. Масалов, Г.А. Емельченко. ФТТ 44, 1026 (2002)
- P.G. Pai, S.S. Chao, Y. Takagi, G. Lucovsky. J. Vacuum Sci. \& Technology A 4, 689 (1986)
- B. Shokri, M. Abbasi Firouzjah, S.I. Hosseini. ISPC-19, P3.6.10 (2009)
- В.Г. Ильвес, М.Г. Зуев, С.Ю. Соковнин, А.М. Мурзакаев. ФТТ, 57, 2439 (2015)
- С.Н. Шамин, В.Р. Галахов, В.И. Аксенова, А.Н. Карпов, Н.Л. Шварц, З.Ш. Яновицкая, В.А. Володин, И.В. Антонова, Т.Б. Ежевская, J. Jedrzejewski, E. Savir, I. Balberg. ФТП 44, 550 (2010)
- R.I. Mamalimov, A.I. Shcherbakov, A.E. Chmel. J. Appl. Spectroscopy 80, 308 (2013)
- M. Osana, V. Fornes, J.V. Garsia-Ramos, C.J. Serna. Phys. Chem. Miner. 14, 527 (1987). (1987)
- A. Pavlikov, E. Konstantinova, V. Timoshenko. Phys. Status Solidi C 8, 1928 (2011)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
