Физика твердого тела

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Начальные стадии роста пленок титаната бария-стронция на подложке полуизолирующего карбида кремния

DOI: 10.21883/FTT.2017.12.45230.157

Тумаркин А.В.¹, Серенков И.Т.², Сахаров В.И.², Разумов С.В.¹, Одинец А.А.¹, Злыгостов М.В.¹, Сапего Е.Н.¹, Афросимов В.В.²

¹Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия St. Petersburg State Electrotechnical University “LETI", St. Petersburg, Russia

St. Petersburg State Electrotechnical University “LETI", St. Petersburg, Russia

²Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия Ioffe Institute, St. Petersburg, Russia

Email: avtumarkin@yandex.ru

Поступила в редакцию: 17 мая 2017 г.

Выставление онлайн: 19 ноября 2017 г.

PDF версия

Впервые исследованы начальные стадии роста сегнетоэлектрических пленок титаната бария-стронция на подложках монокристаллического карбида кремния. Выбор подложки, обладающей высокой теплопроводностью, обусловлен возможностью применения данных структур в мощных сверхвысокочастотных устройствах. Определены диапазоны температур, разделяющие механизм поверхностной диффузии осаждаемых атомов от диффузии через газовую фазу при росте многокомпонентных пленок. Исследования показали, что массоперенос посредством поверхностной диффузии приводит к формированию зародышей малой высоты, покрывающих большую часть подложки, тогда как массоперенос атомов через газовую фазу приводит к образованию "столбчатой" островковой структуры с малым процентом покрытия подложки и большей высотой островков. А.В. Тумаркин и А.А. Одинец выражают благодарность за финансовую поддержку РФФИ (проект 16-29-05147 офи_м) и Минобрнауки России (государственное задание N 3.3990.2017.ПЧ). DOI: 10.21883/FTT.2017.12.45230.157

C. Luo, J. Ji, F. Ling, D. Li, J Yao. J. Alloys Comp. 687, 458--462 (2016)
J.W. Kim, H. Shima, T. Yamamoto, S. Yasui, H. Funakubo, T. Yamada, K. Nishida. Proc. IEEE ISAF, 7172665 (2016)
Г.Я. Красников, Н.А. Зайцев, В.П. Бокарев, Ю.И. Плотников. Электронная техника. Сер. 3. Микроэлектроника 1, 161, 42 (2016)
О.Г. Вендик. ФТТ 51, 1441 (2009)
O. Soldatenko, T. Samoilov, A. Ivanov, A. Kozyrev, D. Ginley, T. Kaydanova. Appl. Phys. Lett. 89, 232 (2006)
L. Song, Y. Chen, G. Wang, L. Yang, J. Ge, X. Dong, P. Xiang, Y. Zhang, X. Tang. J. Am. Ceram. Soc. 97, 3048 (2014)
А.В. Тумаркин, С.В. Разумов, А.Г. Гагарин, А.А. Одинец, А.К. Михайлов, И.П. Пронин, В.М. Стожаров, С.В. Сенкевич, Н.К. Травин. ПЖТФ 42, 8, 70 (2016)
S.V. Razumov, A.V. Tumarkin, M.M. Gaidukov, A.G. Gagarin, A.B. Kozyrev, O.G. Vendik, A.V. Ivanov, O.U. Buslov, V.N. Keys, L.C. Sengupta, X. Zhang. Appl. Phys. Lett. 81, 1675 (2002)
С.А. Кукушкин, В.В. Слезов. Дисперсные системы на поверхности твердых тел. Механизмы образования тонких пленок (эволюционный подход). Наука, СПб. (1996). 304 с
S.A. Kukushkin, A.V. Osipov. J. Appl. Phys. 86, 1370 (1999)
S.A. Kukushkin. Thin Solid Films 207, 302 (1992)
S.A. Kukushkin, A.V. Osipov. Prog. Surf. Sci. 51, 1 (1996)
В.В. Афросимов, Р.Н. Ильин, С.Ф. Карманенко, В.И. Сахаров, И.Т. Серенков. ФТТ 45, 1070 (2003)
А.В. Тумаркин, И.Т. Серенков, В.И. Сахаров. ФТТ 52, 2397 (2010)
А.В. Тумаркин, С.А. Кукушкин, А.В. Осипов, А.В. Анкудинов, А.А. Одинец. ФТТ 57, 796 (2015)
А.В. Тумаркин, И.Т. Серенков, В.И. Сахаров, В.В. Афросимов, А.А. Одинец. ФТТ 58, 354 (2016)
А.В. Тумаркин, В.И. Альмяшев, С.В. Разумов, М.М. Гайдуков, А.Г. Гагарин, А.Г. Алтынников, А.Б. Козырев. ФТТ 57, 540 (2015)
V.V. Afrosimov, R.N. Il'in, S.F. Karmanenko, F.F. Melkov, V.I. Sakharov, I.T. Serenkov. Thin Solid Films 492, 146 (2005)
J. Roy, S. Chandra, S. Das, S. Maitra. Rev. Adv. Matter Sci. 38, 29 (2014)
R.G. Munro, S.J. Dapkunas. J. Res. Natl. Inst. Stand. Technol. 98, 607 (1993)
С.В. Разумов, А.В. Тумаркин, М.В. Сыса, А.Г. Гагарин. ПЖТФ 29, 1 (2003)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель