Применение метода спектральной эллипсометрии для характеризации наноразмерных пленок с ферромагнитными слоями
Министерство образования и науки Российской Федерации, на основе госзадания, Ведущий исследователь, организация научной работы, 3.8022.2017/ВУ
Хашим Х.1, Сингх С.П.1, Панина Л.В.1,2, Пудонин Ф.А.3, Шерстнев И.А.3, Подгорная C.В.1, Шпетный И.А.4, Беклемишева А.В.1
1Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия
2Институт проблем проектирования в микроэлектронике Российской академии наук (ИППМ РАН)
3Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук, Москва, Россия
4Сумский государственный университет, Сумы, Украина
Email: hh@science.tanta.edu.eg
Выставление онлайн: 20 октября 2017 г.
Наноструктурированные пленки с ферромагнитными слоями широко используются в наноэлектронике, сенсорных системах и телекоммуникации. Свойства нанопленок могут существенно отличаться от объемных материалов, что обусловлено влиянием интерфейсов, промежуточных слоев и диффузии. В данной работе развиваются методы спектральной эллипсометрии и магнитооптики для исследования оптических параметров и процессов намагничивания для двух- и трехслойных пленок типа Cr/NiFe, Al/NiFe, Сr(Al)/Ge/NiFe на ситалловой подложке для различных толщин слоев Cr и Al. При толщине слоя меньше 20 nm имеется существенная зависимость комплексных коэффициентов преломления от толщины. Процессы перемагничивания двухслойных пленок слабо зависят от толщины верхнего слоя, однако значение коэрцитивности при перемагничивании трехслойных пленок может увеличиться более, чем в два раза, при увеличении толщины верхнего слоя с 4 до 20 nm. Результаты работы получены в рамках выполнения государственного задания Минобрнауки (задача 3.8022.2017.ВУ). DOI: 10.21883/FTT.2017.11.45059.21k
- S.A. Wolf. Science 294, 1488 (2001)
- P.P. Freitas, R. Ferreira, S. Cardoso, F. Cardoso. J. Phys.: Condens. Matter 19, 165221 (2007)
- G. Armelles, A. Cebollada, A. Garci a-Marti n, M.U. Gonzalez, Adv. Opt. Mater. 1, 10 (2013)
- S. Demokritov, J.A. Wolf, P. Grunberg. Europhys. Lett. 15, 881 (1991)
- V.A. Skidanov. 20th Int. Conference on Magnetism. Barcelona (2015)
- V.A. Skidanov. Program Abstracts. Int. Symposium "Spin Waves". Saint-Petersburg (2015)
- G. Neuber, R. Rauer, J. Kunze, J. Backstrom, M. Rubhausen. Thin Solid Films 455, 39 (2004)
- S. Visnovsky, R. Lopusnik, M. Bauer, J. Bok, J. Fassbender, B. Hillebrands. Opt. Express 9, 121 (2001)
- Е.А. Ганьшина, В.С. Гущин, С.И. Касаткин, М.А. Муравьев. ФTT 46, 864 (2004)
- H. Fujiwara. Spectroscopic Ellipsometry: Principles and Applications. John Wiley \& Sons Ltd, 170 (2007)
- L. Pereira, H.Aguas, E. Fortunato, R. Martins. App. Surf. Sci. 253, 339 (2006)
- E. Langereis, S.B.S. Heil, H.C.M. Knoops, W. Keuning, M.C.M. van de Sanden, W.M.M. Kessels. J. Phys. D 42, 073001 (2009)
- В.А. Швец, Е.В. Спесивцев, С.В. Рыхлицкий, Н.Н. Михайлов. Рос. нанотехнологии 4, 72 (2009)
- J.N. Hilfiker. In: In situ spectroscopic ellipsometry (SE) for characterization of thin film growth / Eds.: G. Koster, G. Rijnders. Woodhead Publishing Limited (2011). P. 99
- K. Postava, D. Hrabovsky, J. Hamrlov, J. Pistora, A. Wawro, L.T. Baczewski, I. Sveklo, A. Maziewski. Thin Solid Films 519, 2627 (2011)
- G. Neuber, R. Rauer, J. Kunze, J. Backstrom, M. Rubhausen. Thin Solid Films, 455-456, 39 (2004)
- R.P. Hunt. J. Appl. Phys. 38, 1652 (1967)
- Y.J. Yang, M.R. Scheinfein. J. Appl. Phys. 74, 6810 (1993)
- E.D. Palik. Handbook of Optical Constants of Solids III. Academic Press, San Diego, CA (1998). 68 p
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
