Вышедшие номера
Новый подход к формированию топологии планарных структур на основе высокотемпературного сверхпроводника YBCO
Мастеров Д.В.1, Павлов С.А.1, Парафин А.Е.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: parafin@ipmras.ru
Выставление онлайн: 20 октября 2017 г.

Представлена новая технология формирования планарных сверхпроводниковых структур на основе пленок YBCO с металлическими контактами, полностью исключающая процессы травления. Нужная топология сверхпроводящих элементов из пленки YBCO создается предложенным методом "задающей маски". Омические контакты к сверхпроводящей структуре изготавливаются методом взрывной фотолитографии. Для исследования возможностей данной технологии были проведены измерения сверхпроводящих мостиков шириной 3, 10 и 50 mum и тестовых структур для измерения контактного сопротивления. Работа выполнена при поддержке Российского научного фонда (проект 16-19-10478). В работе использовано оборудование ЦКП "Физика и технология микро- и наноструктур". DOI: 10.21883/FTT.2017.11.45046.05k
  1. Q.Y. Ma, M.T. Schmidt, E.S. Yang, Siu-Wai Chan, D. Bhattachayra, J.P. Zheng, H.S. Kwok. J. Appl. Phys. 71, 4082, (1992)
  2. J.W. Ekin, S.E. Russek, C.C. Clickner, B. Jeanneret. Appl. Phys. Lett. 62, 369, (1993)
  3. Ф.В. Комиссинский, Г.А. Овсянников, З.Г. Иванов. ФТТ 43, 769, (2001)
  4. M. Malnou, C. Feuillet-Palma, C. Ulysse, G. Faini, P. Febvre, M. Sirena, L. Olanier, J. Lesueur, N. Bergeal. J. Appl. Phys. 116, 074505 (2014)
  5. E.A. Vopilkin, N.V. Vostokov, A.E. Parafin. Phys. Low-Dim. Struct. 5/7, 177 (2002)
  6. G.J. Clark, F.K. LeGoues, A.D. Marwick, R.S. Laibowitz, R. Koch. Appl. Phys. Lett. 51, 1462 (1987)
  7. В.К. Васильев, Д.С. Королев, С.А. Королев, Д.В. Мастеров, А.Н. Михайлов, А.И. Охапкин, С.А. Павлов, А.Е. Парафин, П.А. Юнин, Е.В. Скороходов, Д.И. Тетельбаум. Поверхность 4, 80 (2016)
  8. Д.В. Мастеров, С.А. Павлов, А.Е. Парафин, П.А. Юнин. Письма в ЖТФ 42, 82 (2016)
  9. Ю.Н. Дроздов, Д.В. Мастеров, С.А. Павлов, А.Е. Парафин, П.А. Юнин. ЖТФ 85, 109 (2015)
  10. D.V. Masterov, A.E Parafin, L.S. Revin, A.V. Chiginev, E.V. Skorokhodov, P.A. Yunin, A.L. Pankratov. SUST 30, 025007 (2017)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.