Издателям
Вышедшие номера
Электронно-лучевая зарядка диэлектриков, предварительно облученных ионами и электронами средних энергий
Рау Э.И.1, Татаринцев А.А.1, Зыкова Е.Ю.1, Иваненко И.П.1, Купреенко С.Ю.1, Миннебаев К.Ф.1, Хайдаров А.А.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: rau@phys.msu.ru
Поступила в редакцию: 28 декабря 2016 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2017 г.

Изучены эффекты зарядки диэлектрических мишеней при облучении электронами средних энергий в сканирующем электронном микроскопе. Установлены существенные различия кинетики зарядки для исходных образцов и образцов, предварительно облученных электронами и ионами. Эти различия объясняются радиационно-стимулированным дефектообразованием в образцах Al2O3 (сапфир) и SiO2, имеющим, однако, различную природу. Показана роль модификации структуры поверхности и изменения электрофизических характеристик поверхности, в частности эффекта растекания зарядов. Обнаружены критические значения дозы облучения как ионами Ar+, так и электронами, при которых начинается активное дефектообразование в диэлектрических мишенях, а также критические значения внутренних полей зарядов, вносящих существенный вклад во временные характеристики зарядки Al2O3 и SiO2. Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ (грант N 15-02-07819а). DOI: 10.21883/FTT.2017.08.44749.460
  1. J. Cazaux. J. Appl. Phys. 89, 8265 (2001)
  2. A. Melchinger, S. Hofmann. J. Appl. Phys. 78, 6224 (1995)
  3. N. Cornet, D. Goeuriot, C. Guerret-Piecourt, D. Juve, D. Treheux, M. Touzin, H.-J. Fitting. J. Appl. Phys. 103, 064110 (2008)
  4. B. Askri, R. Renoud, K. Raouadi, J.-P. Ganachaud. Eur. Phys. J. Appl. Phys. 32, 29 (2005)
  5. Э.И. Рау, Е.Н. Евстафьева, М.В. Андрианов. ФТТ 50, 599 (2008)
  6. Е.Н. Евстафьева, Э.И. Рау, А.А. Татаринцев. Вестн. МГУ. Сер. 3. Физика, астрономия 2, 34 (2013)
  7. E.I. Rau, S. Fakhfakh, M.V. Andrianov, E.N. Evstafeva, O. Jbara, S. Rondot, D. Mouze. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B 266, 719 (2008)
  8. F. Lefebre, J.P. Vigouroux, J. Perreau. J. Appl. Phys. 65, 1683 (1989)
  9. R.A. Baragiola, M. Shi, R. Vidal, C. Dukes. Phys. Rev. B. 58, 13212 (1998)
  10. E. Cheifetz, V. Richter, A. Zalman, R. Kalish. Diamond. Relat. Mater. 10, 824 (2001)
  11. S. Yogev, J. Levin, M. Molotskii, A. Schwarzman, O. Avayu, Y. Rosenwaks. J. Appl. Phys. 103, 064107 (2008)
  12. A. Hoffman, S. Prawer, R. Kalish. Phys. Rev. B 45, 12736 (1992)
  13. E.I. Rau, A.A. Tatarintsev, V.V. Khvostov, V.E. Yurasova. Vacuum 129, 142 (2016)
  14. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / Под ред. Р. Бериша. Мир, М. (1986). В. 2. 488 с
  15. R. Kelly. J. Vac. Sci. Technol. 21, 778 (1982)
  16. N.V. Alov. Phys. Status Solidi C 12, 263 (2015)
  17. M.L. Knotek, P.J. Feibelman. Surf. Sci. 90, 78 (1979). 18 Е.Ю. Зыкова, А.А. Хайдаров, И.П. Иваненко, И.К. Гайнуллин. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования 11, 7 (2012)
  18. K.F. Minnebaev, V.V. Khvostov, E.Yu. Zykova, K.A. Tolpin, J.S. Colligon, V.E. Yurasova. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B 354, 159 (2015)
  19. J.P. Vigouroux, J.P. Duraud, A. Le Moel, C. Le Gressus. J. Appl. Phys. 57, 5139 (1985)
  20. G. Blaise, C. Le Gressus. J. Appl. Phys. 69, 6334 (1991)
  21. В.В. Никитин, П.В. Комолова, Э.И. Рау. Опт. и спектр. 60, 1186 (1986)
  22. K.S. Kim, W.E. Baitinger, J.W. Amy, N. Winograd. J. Electron. Spectrosc. 5, 351 (1974)
  23. E. Paparazzo. J. Electron. Spectrosc. 50, 47 (1990)
  24. M. Khellafi, B. Lang. Rev. de Phys. Appl. (Paris) 25, 389 (1990)
  25. M.B. Guseva, V.V. Khvostov, V.M. Kostishko, S.Yu. Kovalenko. Surf. Sci. Lett. 276, L24 (1992)
  26. P. Levy. Phys. Rev. 123, 1226 (1961)
  27. M. Choi, A. Janotti, Ch.G. Van de Walle. J. Appl. Phys. 113, 044501 (2013)
  28. O.V. Rakhovskaya, S.S. Elovikov, E.M. Dubinina, E.S. Shakhurin, A.P. Dementjev. Surf. Sci. 274, 190 (1992)
  29. D. Pooley. Proc. Phys. Soc. 87, 245 (1966)
  30. Ч.Б. Лущик, И.К. Витол, М.А. Эланго. ФТТ 6, 2753 (1968)
  31. K. Tanimura, T. Tanaka, N. Itoh. Phys. Rev. Lett. 51, 423 (1983)
  32. M.A. Stevens-Kalceff. Phys. Rev. Lett. 84, 3137 (2000)
  33. A. Crisci, B. Gosse, J.-P. Gosse, V.O. Dureault. Eur. Phys. J. Appl. Phys. 4, 107 (1998)
  34. R. Hanna, T. Paulmier, M. Belhaj, P. Molinie, B. Dirassen, P. Payan, N. Balcon. J. Phys. D 44, 445402 (2011)
  35. B.N. Hendriks, G. van Gorkom, A. van Keersop, N. Lambert, S.T. de Zwart. J. Appl. Phys. 85, 1848 (1999)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.