Вышедшие номера
Состав нанокомпозитов из тонких слоев олова на пористом кремнии, сформированных методом магнетронного распыления
Леньшин А.С.1, Кашкаров В.М.1, Домашевская Э.П.1, Середин П.В.1, Бельтюков А.Н.2, Гильмутдинов Ф.З.2
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
2Физико-технический институт Уральского отделения Российской академии наук, Ижевск, Россия
Email: lenshinas@mail.ru
Поступила в редакцию: 7 июля 2016 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2017 г.

С использованием методов растровой электронной микроскопии и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии проведены исследования особенностей морфологии и состава поверхности нанокомпозитов из тонких слоев олова на пористом кремнии, сформированных методом магнетронного распыления. Обнаружено, что сформированные нанокомпозиты в зависимости от толщины осажденного слоя олова различаются между собой соотношением основных фаз: диоксида олова, субоксида и металлического олова. При этом доля окисленного олова в фазовом составе композитов уменьшается от поверхности к объему образца. Установлено, что осаждение нанослоев олова не приводит к значительному изменению фазового состава подложки пористого кремния. Работа выполнена при поддержке гранта Президента РФ (MK-4865.2016.2) и Министерства образования и науки РФ в рамках государственного задания вузам в сфере научной деятельности на 2014-2016 гг. (проект N 740, задание N 3.130.2014/K). DOI: 10.21883/FTT.2017.04.44282.284