Кинетика электронно-лучевой кристаллизации аморфных пленок ZrO2, полученных ионно-плазменным и лазерным напылением
Багмут А.Г.1, Береснев В.М.2
1Национальный технический университет "Харьковский политехнический институт", Харьков, Украина
2Харьковский национальный университет им. В.Н. Каразина, Харьков, Украина
Email: Bagmut@kpi.Kharkov.ua
Поступила в редакцию: 18 мая 2016 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2016 г.
Проведено сопоставление структуры и кинетики электронно-лучевой кристаллизации аморфных пленок ZrO2, полученных с помощью ионно-плазменного и лазерного напыления. Исследования выполнены методами электронографии и просвечивающей электронной микроскопии со съемками видео-фильмов in situ. Воздействие на аморфную пленку электронного луча в вакууме сопровождается образованием микрокристаллов диоксида циркония с решеткой ГЦК. При лазерном испарении плотность центров кристаллизации beta~ 109sm-2, а характерная единица длины D0~0.48 mum. При ионно-плазменном испарении beta~ 1010 sm-2, а D0~ 0.06 mum. Анализ кинетических кривых кристаллизации аморфных пленок проведен на основе beta-варианта модели Колмогорова. DOI: 10.21883/FTT.2017.01.43965.195
- I.P. Studenyak, M. Kranjcec, O.T. Nahusko, O.M. Borets. Thin Solid Films 476, 137 (2005)
- С.М. Жарков, Л.И. Квеглис. ФТТ 46, 938 (2004)
- А.Г. Багмут. Электронная микроскопия пленок, осажденных лазерным испарением. Изд-во НТУ "ХПИ", Харьков. (2014). 304 с
- А.Г. Багмут, И.А. Багмут, Н.А. Резник. ФТТ 58, 1221 (2016)
- V.M. Beresnev, S.A. Klimenko, I.N. Toryanik, A.D. Pogrebnjak, O.V. Sobol, P.V. Turbin, S.S. Grankin. J. Superhard Mater. 36, 29 (2014)
- G. Ruitenberg, A.K. Petford-Long, R.C. Doole. J. Appl. Phys. 92, 3116 (2002)
- Э.Ш. Гаджиев, А.И. Мададзаде, Д.И. Исмаилов. ФТП 43, 1534 (2009)
- А.Н. Колмогоров. Изв. АН СССР. Сер. мат. 3, 355 (1937)
- В.З. Беленький. Геометрико-вероятностные модели кристаллизации. Феноменологический подход. Наука, М. (1980). 84 с
- U. Koster, U. Herold. Glassy metals I. Ionic structure, electronic transport and crystallization. Springer-Verlag, N. Y. (1981). 376 p
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.