Вышедшие номера
Релаксация тока в Si3N4: эксперимент и численное моделирование
Новиков Ю.Н.1, Гриценко В.А.1,2
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
Email: nov@isp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 7 июня 2016 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2016 г.

Экспериментально измерена релаксация тока в структуре металл-нитрид-оксид-полупроводник. Эксперимент сравнивается с расчетом, основанным на двухзонной модели проводимости и многофононном механизме ионизации ловушек. Из сравнения эксперимента с расчетом для величины сечения рекомбинации получена оценка сверху, которая составила 5· 10-13 cm2. DOI: 10.21883/FTT.2017.01.43949.234
  1. В.А. Гриценко. Cтроение и электронная структура аморфных диэлектриков в кремниевых МДП-структурах. Наука, Новосибирск (1993). 278 c
  2. S.M. Sze. J. Appl. Phys. 18, 2951 (1967)
  3. S. Manzini. J. Appl. Phys. 62, 3278 (1987)
  4. Y.C. Jeon, H.Y. Lee, S.K. Joo. J. Appl. Phys. 75, 979 (1993)
  5. Г.В. Гадияк, М.С. Обрехт, С.П. Синица. Микроэлектроника 14, 512 (1985)
  6. K.A. Nasyrov, V.A. Gritsenko, Yu.N. Novikov, E.-H. Lee, S.Y. Yoon, C.W. Kim. J. Appl. Phys. 96, 4293 (2004)
  7. H. Bachhofer, H. Reisinger, E. Bertagnolli. J. Appl. Phys. 89, 2791 (2001)
  8. A.V. Veshnykov, Yu.N. Novikov, V.A. Gritsenko, K.A. Nasyrov. Solid-State Electron. 53, 251 (2009)
  9. V.A. Gritsenko, K.A. Nasyrov, Yu.N. Novikov, A.L. Aseev, S.Y. Yoon, J.-W. Lee, E.-H. Lee, C.W. Kim. Solid-State Electron. 47, 1651 (2003)
  10. Yu.N. Novikov, V.A. Gritsenko, K.A. Nasyrov. Optoelectronics 45, 80 (2009)
  11. Yu.N. Novikov. J. Appl. Phys. 117, 154103 (2015)
  12. J. Bu, M.H. White. Solid-State Electron. 45, 113 (2001)
  13. G.W. Burr, M.J. Breitwisch, M. Franceschini, D. Garetto, K. Gopalakrishnan, B. Jackson, B. Kurdi, C. Lam, L.A. Lastras, A. Padilla, B. Rajendran, S. Raoux, R.S. Shenoy. Vac. Sci. Technol. B 28, 223 (2010)
  14. V.A. Gritsenko, E.E. Meerson, Yu.N. Morokov. Phys. Rev. B 57, R2081 (1997)
  15. S.S. Makram-Ebeid, M. Lannoo. Phys. Rev. B 25, 6406 (1982)
  16. F.L. Hampton, J.R. Cricchi. Appl. Phys. Lett. 35, 802 (1979)
  17. S.D. Tzeng, S. Gwo. J. Appl. Phys. 100, 023711 (2006)
  18. Y.J. Seo, K.C. Kim, H.D. Kim, G. Kim, H.-M. An. J. Korean Phys. Soc. 53, 3302 (2008)
  19. А.А. Карпушин, А.Н. Сорокин, В.А. Гриценко. Письма в ЖЭТФ 103, 188 (2016)
  20. V.A. Gritsenko, E.E. Meerson, S.P. Sinitsa. Phys. Status. Solidi. A 48, 31 (1978)
  21. D.S. Jeong, H. Schroeder, R. Waser. Phys. Rev. B 79, 195317 (2009)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.