Обратимое изменение микротвердости кристаллов Si, вызванное малыми дозами облучения электронами
Головин Ю.И.1, Дмитриевский А.А.1, Пушнин И.А.1, Сучкова Н.Ю.1
1Тамбовский государственный университет им. Г.Р. Державина, Тамбов, Россия
Email: dmitr2002@tsu.tmb.ru
Поступила в редакцию: 10 февраля 2004 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2004 г.
Обнаружено обратимое разупорядочение монокристаллов кремния, инициируемое малыми дозами (D<1 cGy) бета-облучения. Наличие пиков на зависимости изменения микротвердости Si от флюенса объясняется многостадийными конкурирующими процессами преобразований радиационных дефектов. Работа выполнена при финансовой поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант N 02-02-17571), а также программы Университеты России (грант N У.Р.01.01.013).
- В.С. Вавилов. Действие излучений на полупроводники. Физматгиз, М. (1963). 264 с
- В.В. Козловский, В.А. Козлов, В.Н. Ломасов. ФТП 34, 2, 129 (2000)
- В.А. Козлов, В.В. Козловский. ФТП 35, 7, 769 (2001)
- В.А. Макара, Н.Н. Новиков. Физика и химия обраб. материалов. 6, 137 (1973)
- S. Fujita, K. Maeda, S. Hyodo. Phys. Stat. Sol. A 109, 383 (1988)
- Ю.И. Головин, А.А. Дмитриевский, Р.К. Николаев, И.А. Пушнин. ДАН 385, 1, 1 (2002)
- А.Г. Липсон, Д.М. Саков, В.И. Савенко, Е.И. Саунин. Письма в ЖЭТФ 70, 2, 118 (1999)
- Ю.И. Головин, А.А. Дмитриевский, Р.К. Николаев, И.А. Пушнин. ФТТ 45, 1, 187 (2003)
- G. Golan, E. Rabinovich, A. Inberg, A. Axelevitch, M. Oksman, Y. Rosenwaks, A. Kozlovsky, P.G. Rancoita, M. Rattaggi, A. Seidman, N. Croitoru. Microelectonics Reliability 39, 1497 (1999)
- B.Ya. Farber, V.I. Orlov, V.I. Nikitenko, A.H. Heuer. Phil Mag. A 78, 671 (1998)
- Yu.I. Golovin, A.I. Tyurin, B.Ya. Ferber. Phil. Mag. A. 82, 10, 1857 (2002)
- Е.М. Вербицкая, В.К. Еремин, А.М. Иванов, З. Ли, Б. Шмидт. ФТП 31, 2, 235 (1997)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.