Влияние дозы имплантации и длительности отжига на люминесцентные свойства (113) дефектов в Si, имплантированном ионами кислорода
Соболев Н.А.1, Калядин А.Е.1, Аруев П.Н.1, Забродский В.В.1, Шек Е.И.1, Штельмах К.Ф.1,2, Карабешкин К.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Санкт-Петербург, Россия
Email: nick@sobolev.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 18 мая 2016 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2016 г.
Исследованы фотолюминесцентные свойства (113) дефектов, образующихся в Si-структуре после имплантации ионов кислорода с энергией 350 keV и дозами 1.7·1013-1.7·1015 cm-2 и последующего отжига при 700oC в течение 0.5-2 h в хлорсодержащей атмосфере. Независимо от дозы имплантации и времени отжига в спектрах фотолюминесценции доминирует линия с длиной волны 1.37 mum, принадлежащая (113) дефекту. Зависимости интенсивности линии от дозы имплантации и длительности отжига характеризуются кривыми с максимумами. С ростом температуры измерения в диапазоне 64-120 K интенсивность линии монотонно уменьшается. Работа Н.А. Соболева и К.В. Карабешкина частично поддержана грантом РФФИ N 14-08-01256, а работа Е.И. Шек - грантом РФФИ N 14-02-00152.
- M.A. Green, J. Zhao, A. Wang, P.J. Reece, M. Gal. Nature 412, 805 (2001)
- G. Davies. Phys. Rep. 176, 83 (1989)
- G. Franzo, F. Priolo, S. Coffa, A. Polman, A. Carnera. Appl. Phys. Lett. 64, 2235 (1994)
- A.M. Emel`yanov, N.A. Sobolev, A.N. Yakimenko. Appl. Phys. Lett. 72, 1223 (1998)
- V. Kveder, V. Badylevich, E. Steinman, A. Izotov, M. Zeibt, W. Schreter. Appl. Phys. Lett. 84, 2106 (2004)
- Н.А. Соболев, А.Е. Калядин, М.В. Коновалов, П.Н. Аруев, В.В. Забродский, Е.И. Шек, К.Ф. Штельмах, А.Н. Михайлов, Д.И. Тетельбаум. ФТП 50, 241 (2016)
- S. Takeda. Jpn. J. Appl. Phys. 30, L639 (1991)
- S. Coffa, S. Libertino, C. Spinella. Appl. Phys. Lett. 76, 321 (2000)
- P.K. Giri. Semicond. Sci. Technol. 20, 638 (2005)
- Y. Yang, C. Wang, R.D. Yang, L. Li, F. Xiong, J.M. Bao. Chin. Phys. B 18, 4906 (2009)
- Y. Yang, J.M. Bao, C. Wang, M.J. Aziz. J. Appl. Phys. 107, 123109 (2010)
- J.F. Ziegler, M.D. Ziegler, J.P. Biersack. Nucl. Instrum. Meth. B 268, 1818 (2010)
- J. Michel, J.L. Benton, R.F. Ferrante, D.C. Jacobson, D.J. Eaglesham, E.A. Fitzgerald, Y.-H. Xie, J.M. Poate, L.C. Kimerling. J. Appl. Phys. 70, 2672 (1991)
- E.O. Sveinbjornsson, J. Weber. Appl. Phys. Lett. 69, 2686 (1996)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
