Издателям
Вышедшие номера
Зависимость оптимальных параметров фемтосекундного лазерного отжига пленок цирконата-титаната свинца от их толщины
Елшин А.С.1, Абдуллаев Д.А.1, Мишина Е.Д.1
1Московский государственный университет информационных технологий, радиотехники и электроники, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 27 октября 2015 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2016 г.

Экспериментально исследована зависимость оптимальных параметров лазерного отжига (кристаллизации) повторяющимися импульсами длительностью 100 fs с длиной волны 800 nm, попадающей в область прозрачности пленки, но в область поглощения подложки, от толщины сегнетоэлектрической пленки. Показано, что при увеличении толщины пленки на 100 nm (в диапазоне 300-600 nm) требуемая плотность мощности лазерного луча повышается в среднем на 0.1 MW/cm2. Оптимальное время воздействия лазерного луча заданной мощности увеличивается нелинейно с ростом толщины пленки. Работа поддержана Министерством образования и науки РФ (госзадание вузам, проект N 11.144.2014).
  1. K.G. Brooks, I.M. Reaney, R. Klissurska, Y. Huang, L. Bursill, N. Setter. J. Mater. Res. 9, 2540 (1994)
  2. K.H. Park, C.Y. Kim, Y.W. Jeong, H.J. Kwon, K.Y. Kim, S.T. Kim. J. Mater. Res. 10, 1790 (1995)
  3. S. Kim, Y. Bastani, H. Lu. Adv. Mater. 23, 3786 (2011)
  4. J. Kim. Scanning 32, 320 (2010)
  5. Y. Matsui, M. Okuyama, N. Fujita, Y. Hamakawa. J. Appl. Phys. 52, 5107 (1981)
  6. C.F. Chou, H.C. Pan, C.C. Chou. Jpn. J. Appl. Phys. 1, 6679 (2002)
  7. С.А. Ахманов, В.И. Емельянов, Н.И. Воротеев, В.Н. Семиногов. УФН 147, 4 (1985)
  8. M.H.M. Zai, A. Akiba, H. Goto, M. Matsumoto, E.M. Yeatman. Thin Solid Films 394, 96 (2001)
  9. A. Queralto, A.P. del Pino, M. de la Mata, J. Arbiol, M. Tristany, A. Gomez, T. Puig. Appl. Phys. Lett. 106, 262 903 (2015)
  10. J.P.B. Silva, A. Khodorov, A. Almeida, J.A. Moreira, M. Pereira, M.J.M. Gomes. Appl. Phys. A 116, 1271 (2014)
  11. H. Palneedi, D. Maurya, G.Y. Kim, S. Priya, S.J.L. Kang, K.H. Kim, J. Ryu. Appl. Phys. Lett. 107, 012 904 (2015)
  12. А.С. Елшин, Н.Ю. Фирсова, Е.Д. Мишина, Д.А. Абдуллаев, Д.А. Киселев. Вестн. МИРЭА 4, 230 (2014)
  13. А.С. Елшин, Н.Ю. Фирсова, М.А. Марченкова, В.И. Емельянов, И.П. Пронин, С.В. Сенкевич, Е.Д. Мишина, А.С. Сигов. Письма в ЖТФ 41, 9, 16 (2015)
  14. Н.Ю. Фирсова, А.С. Елшин, М.А. Марченкова, А.К. Болотов, М.С. Иванов, И.П. Пронин, С.В. Сенкевич, Д.А. Киселев, Е.Д. Мишина. Нано- и микросистемная техника 7(168), 43 (2014)
  15. N.E. Sherstyuk, E.D. Mishina, S.D. Lavrov, A.M. Buryakov, M.A. Marchenkova, A.S. Elshin, A.S. Sigov. Ferroelectrics 477, 29 (2015)
  16. И.П. Пронин, Е.Ю. Каптелов, С.В. Сенкевич, В.А. Климов, Н.В. Зайцева, Т.А. Шаплыгина, С.А. Кукушкин. ФТТ 52, 124 (2010)
  17. C.K. Kwok, S.B. Desu. J. Mater. Res. 8, 339 (1992)
  18. А.С. Елшин, Н.Ю. Фирсова, Е.Д. Мишина, О.М. Жигалина, Д.А. Абдуллаев, Д.А. Киселев. Наноматериалы и наноструктуры --- XXI век 3, 30 (2014)
  19. А.S. Elshin, I.P. Pronin, O.M. Zhigalinа, M.Yu. Presniakov, D.N. Khmelenin, E.D. Mishina, V.I. Emel'yanov. Solid State Commun. In press (2016).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.