Издателям
Вышедшие номера
О роли вторичной экстинкции при измерении интегральной интенсивности рентгенодифракционных пиков и определении толщины нарушенных эпитаксиальных слоев
Кютт Р.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: r.kyutt@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 12 августа 2015 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2016 г.

Измерены интегральные интенсивности рентгенодифракционных отражений для серии эпитаксиальных слоев AIII-нитридов (GaN, AlN, AlGaN), выращенных на разных подложках (сапфир, SiC) и имеющих разную степень структурного совершенства. Показано, что, несмотря на большую плотность дислокаций и значительное уширение дифракционных пиков, полученные значения не описываются кинематической теорией дифракции и свидетельствуют о существовании экстинкции. Результаты анализируются на основе моделей экстинкции Дарвина и Захариазена. Путем использования двух порядков отражения как в брэгговской геометрии (0002 и 0004), так и в лауэвской (10=10) и 11=20) определены значения коэффициента вторичной экстинкции и толщина эпитаксиальных слоев. Показано, что вторичная экстинкция тем больше, чем меньше уширение дифракционных пиков и, следовательно, плотность дислокаций. Для слоев с регулярной системой прорастающих дислокаций коэффициент вторичной экстинкции из Лауэ-отражений значительно больше, чем из брэгговских отражений.
  1. М.А. Кривоглаз. Теория рассеяния рентгеновских лучей и тепловых нейтронов реальными кристаллами. Наука, М. (1967). 336 с
  2. P.H. Dederichs. J. Phys. F 3, 471 (1973)
  3. B.C. Larson. J. Appl. Cryst. 8, 150 (1975)
  4. V.M. Kaganer, O. Brandt, A. Trampert, K.H. Ploog. Phys. Rev. B 72, 045 448 (2005)
  5. V.M. Kaganer, A. Shalimov, J. Bak-Misiuk, K.H. Ploog. J. Phys.: Condens. Matter 18, 5047 (2006)
  6. M. Barchuk, V. Holy, B. Miljevic, B. Krause, T. Baumbach, J. Hertkom, F. Scholz. J. Appl. Phys. 108, 043 521 (2010)
  7. W.H. Zahariasen. Acta Cryst. 23, 558 (1967)
  8. Р. Джеймс. Оптические принципы дифракции рентгеновских лучей. Пер. с англ. ИЛ, М. (1950), 720 c
  9. P. Becker. Acta Cryst. A 33, 243 (1977)
  10. P.J. Becker, P. Coppens. Acta Cryst. A 30, 129 (1974)
  11. J.L. Lowrence. Acta Cryst. A 30, 454 (1974)
  12. J.L. Lowrence. Acta Cryst. A 33, 232 (1977)
  13. Р.Н. Кютт, Ю.П. Хапачев. ЖТФ 63, 12, 50 (1993)
  14. Р.Н. Кютт, В.В. Ратников, Г.Н. Мосина, М.П. Щеглов. ФТТ 41, 30 (1999)
  15. V.V. Ratnikov, R.N. Kyutt, T.V. Shubina, T. Pashkova, B. Monemar. J. Phys. D. 34, 30 (2001)
  16. T. Cromer, D. Liberman. J. Chem. Phys. 53, 1891 (1970)
  17. L. Kirste, K.M. Pavlov, S.T. Mudie, V.I. Punegov, N. Herres. J. Appl. Cryst. 38, 183 (2005)
  18. Р.Н. Кютт, А.А. Дышеков. Письма ЖТФ 37, 7, 31 (2011).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.