Вышедшие номера
Фазовое равновесие при образовании карбида кремния за счет топохимического превращения из кремния
Кукушкин С.А.1,2,3, Осипов А.В.1,2
1Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики (Университет ИТМО), Санкт-Петербург, Россия
3Санкт-Петербургский государственный политехнический университет, Санкт-Петербург, Россия
Email: sergey.a.kukushkin@gmail.com
Поступила в редакцию: 21 сентября 2015 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2016 г.

Методами линейной алгебры найден базис из независимых химических реакций в системе топохимического превращения кремния в карбид кремния за счет реакции с монооксидом углерода. На основе этого базиса рассчитана фазовая диаграмма давление --- поток, описывающая состав твердой фазы для конкретной конструкции вакуумной печи. Показано, что для роста чистого SiC необходимо обеспечивать давление монооксида углерода меньше определенного значения, а его поток --- больше определенного значения, зависящих от температуры процесса. При расчете топохимической реакции впервые учтены упругие поля вокруг образующихся вакансий. Показано, что анизотропия этих полей в кубическом кристалле увеличивает константу основной реакции примерно в 4 раза. Исследование выполнено при финансовой поддержке РФФИ (гранты N 15-0306155, 13-02-12040-офи-м).
  1. G. Kaupp. In: Making Crystal by Design / Ed. D. Braga, F. Greponi. Wiley-VCH, Weinheim (2007). P. 87
  2. S.A. Kukushkin, A.V. Osipov. J. Appl. Phys. 113, 024 909 (2013)
  3. С.А. Кукушкин, А.В. Осипов, Н.А. Феоктистов. ФТТ 56, 1457 (2014)
  4. S.A. Kukushkin, A.V. Osipov. J. Phys. D 47, 313 001 (2014)
  5. В.Г. Дубровский. Теория формирования эпитаксиальных наноструктур. М., Физматлит. (2009). 351 с
  6. С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. ФТТ 56, 761 (2014)
  7. Е.С. Воронцов. УХН 34, 2020 (1965)
  8. А.Я. Розовский. Кинетика топохимических реакций. Химия, М. (1974). 221 с
  9. И.Д. Ван-дер-Ваальс, Ф. Констамм. Курс термостатики. Т. 1-2. ОНТИ, М. (1936). 452 с.
  10. Н.Ф. Степанов, М.Е. Ерлыкина, Г.Г. Филиппов. Методы линейной алгебры в физической химии. Изд-во МГУ, М. (1976). 360 с
  11. J.P. O'Connel, J.M. Haime. Thermodynamics. Fundamental of Applications. Cambridge Univ. Press, Cambridge (2005). 654 p
  12. Термодинамические свойства индивидуальных веществ / Под ред. В.П. Глушко. Т. 2. Кн. 2. Наука, М. (1979). 344 с
  13. С.А. Кукушкин, А.В. Осипов, Р.С. Телятник. ФТТ 58, 941 (2016)
  14. С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. ФТТ 50, 1188 (2008)
  15. С.В. Кузьмичев, С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. МТТ, 4, 88 (2013).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.