Вышедшие номера
Эпитаксиальный рост пленок сульфида кадмия на кремнии
Антипов В.В.1,2, Кукушкин С.А.1,3, Осипов А.В.1,3
1Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный технологический институт (Технический университет), Санкт-Петербург, Россия
3Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия
Email: sergey.a.kukushkin@gmail.com
Поступила в редакцию: 17 июня 2015 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2016 г.

Впервые выращен эпитаксиальный слой сульфида кадмия толщиной 300 nm на кремнии. Для этой цели использовался метод испарения и конденсации в квазизамкнутом объеме. Температура подложки составляла 650oC, время роста 4 s. Для того чтобы избежать химической реакции между кремнием и сульфидом кадмия (константа реакции при данной температуре ~103), а также для стравливания кремния серой, на поверхности кремния предварительно методом замещения атомов синтезирован высококачественный буферный слой карбида кремния толщиной ~100 nm. Эллипсометрический, рамановский, электронографический и микроэлементный анализ показал высокое структурное совершенство слоя CdS и отсутствие поликристаллической фазы. Работа выполнена при финансовой поддержке Российского научного фонда (грант N 14-12-01102).