Распределение изотопов 28Si, 29Si и 30Si под действием пластической деформации в приповерхностных слоях кристаллов Si : B
Коплак О.В.1,2, Васильев М.А.3, Моргунов Р.Б.1
1Институт проблем химической физики РАН, Черноголовка, Россия
2Киевский государственный университет им. Т.Г. Шевченко, Киев, Украина
3Институт металлофизики им. Г.В. Курдюмова НАН Украины, Киев, Украина
Email: morgunov2005@yandex.ru
Поступила в редакцию: 2 июля 2015 г.
Выставление онлайн: 20 января 2016 г.
Обнаружено перераспределение изотопов 28Si, 29Si и 30Si в приповерхностных слоях монокристаллов Si : B после их пластической деформации. Установлено, что после деформации профиль распределения изотопов 28Si, 29Si становится более плавным, а распределение изотопа 30Si не изменяется. Обнаружено изменение приповерхностного профиля оксида 29SiO, которое свидетельствует о миграции изотопа 29Si в составе кислородных комплексов при пластической деформации. Работа выполнена при поддержке грантов РФФИ (проекты 14-03-31004 и 13-07-12027).
- F.A. Zwanenburg, A.S. Dzurak, A. Morello, M.Y. Simmons, L.C.L. Hollenberg, G. Klimeck, S. Rogge, S.N. Coppersmith, M.A. Eriksson. Rev. Mod. Phys. 85, 961 (2013)
- Y. Shimizu, A. Takano, K.M. Itoh. Appl. Surf. Sci. 255, 1345 (2008)
- Y. Shimizu, Y. Kawamura, M. Uematsu, K.M. Itoh, M. Tomita, M. Sasaki, H. Uchida, M. Takahashi. Appl. Phys. 106, 076 102 (2009)
- L. Kalinowski, R. Seguin. Appl. Phys. Lett. 35, 211 (1979)
- I.C. Vickridge, O. Kaitasov, R.J. Chater, J.A. Kilner. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B 161--163, 441 (2000)
- E. Huger, R. Kube, H. Bracht, J. Stahn, T. Geue, H. Schmidt. Phys. Status Solidi B 249, 2108 (2012)
- H. Bracht, E.E. Haller, R. Clark-Phelps. Phys. Rev. Lett. 81, 393 (1998)
- G. Stingeder, M. Grundnerg, M. Grasserbauer. Surf. Interface Analysis 11, 407 413 (1988)
- J. Kato, K.M. Itoh, H. Yamada-Kaneta, H. Pohl. Phys. Rev. B 68, 035 205 (2003)
- A.M. Stoneham, M.A. Szymanski, A.L. Shluger. Phys. Rev. B 63, 241 304R (2001)
- A. Bongiorno, A. Pasquarello. Phys. Rev. Lett. 93, 086 102 (2004)
- O.V. Koplak, A.I. Dmitriev, T. Kakeshita, R.B. Morgunov. Appl. Phys. 110, 044 905 (2011)
- O. Koplak, R. Morgunov, A. Buchachenko. Chem. Phys. Lett. 560, 29 (2013)
- О.В. Коплак, А.И. Дмитриев, Р.Б. Моргунов. ФTT 57, 95 (2015)
- В.Т. Черепин, М.А. Васильев. Вторичная ионно-ионная эмиссия металлов и сплавов. Наук. думка, Киев (1975). 354 с
- В.Т. Черепин, М.А. Васильев. Методы и приборы для анализа поверхности материалов. Наук. думка, Киев (1982). 234 с
- Е.Я. Гегузин. УФН 149, 149 (1986)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.