Вышедшие номера
Плотность дислокаций в гетероэпитаксиальных структурах CdHgTe на подложках из GaAs и Si ориентации (013)
Сидоров Ю.Г.1, Якушев М.В.1, Варавин В.С.1, Колесников А.В.1, Труханов Е.М.1, Сабинина И.В.1, Лошкарев И.Д.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Email: sidorov@isp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 13 апреля 2015 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2015 г.

Методом молекулярно-лучевой эпитаксии выращены эпитаксиальные слои CdxHg1-xTe (КРТ) на подожках GaAs и Si ориентации (013). Введение промежуточных слоев ZnTe и CdTe позволило сохранить в эпитаксиальных слоях КРТ ориентацию, близкую к ориентации подложки, несмотря на сильное рассогласование параметров решеток. Структуры исследованы методами рентгеновской дифракции и просвечивающей электронной микроскопии. Установлены дислокационные семейства, преимущественно снимающие несоответствие параметров решеток. С помощью электронной микроскопии зарегистрированы Gamma-образные дислокации несоответствия (ДН), для которых облегчена аннигиляция пронизывающих дислокаций. Измерены углы разворота решеток, вызванные формированием сеток дислокаций несоответствия. Показано, что плотность пронизывающих дислокаций в активной области фотодиодов определяется в основном сеткой дислокаций несоответствия, формирующейся на гетерогранице КРТ/CdTe. Снижение плотности пронизывающих дислокаций в пленке КРТ достигается при циклическом отжиге в условиях, когда максимально облегчается неконсервативное движение дислокаций. Плотность определялась по ямкам травления. Исследование выполнено в рамках проекта N 01201353182 программы ФНИ государственных академий наук и при поддержке гранта Минобрнауки РФ RFMEFI60414X0134.