Плотность дислокаций в гетероэпитаксиальных структурах CdHgTe на подложках из GaAs и Si ориентации (013)
Сидоров Ю.Г.1, Якушев М.В.1, Варавин В.С.1, Колесников А.В.1, Труханов Е.М.1, Сабинина И.В.1, Лошкарев И.Д.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Email: sidorov@isp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 13 апреля 2015 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2015 г.
Методом молекулярно-лучевой эпитаксии выращены эпитаксиальные слои CdxHg1-xTe (КРТ) на подожках GaAs и Si ориентации (013). Введение промежуточных слоев ZnTe и CdTe позволило сохранить в эпитаксиальных слоях КРТ ориентацию, близкую к ориентации подложки, несмотря на сильное рассогласование параметров решеток. Структуры исследованы методами рентгеновской дифракции и просвечивающей электронной микроскопии. Установлены дислокационные семейства, преимущественно снимающие несоответствие параметров решеток. С помощью электронной микроскопии зарегистрированы Gamma-образные дислокации несоответствия (ДН), для которых облегчена аннигиляция пронизывающих дислокаций. Измерены углы разворота решеток, вызванные формированием сеток дислокаций несоответствия. Показано, что плотность пронизывающих дислокаций в активной области фотодиодов определяется в основном сеткой дислокаций несоответствия, формирующейся на гетерогранице КРТ/CdTe. Снижение плотности пронизывающих дислокаций в пленке КРТ достигается при циклическом отжиге в условиях, когда максимально облегчается неконсервативное движение дислокаций. Плотность определялась по ямкам травления. Исследование выполнено в рамках проекта N 01201353182 программы ФНИ государственных академий наук и при поддержке гранта Минобрнауки РФ RFMEFI60414X0134.
- М.В. Якушев, Д.В. Брунев, В.С. Варавин, В.В. Васильев, С.А. Дворецкий, И.В. Марчишин, А.В. Предеин, И.В. Сабинина, Ю.Г. Сидоров, А.В. Сорочкин. ФТП 45, 396 (2011)
- J.W. Matthews. J. Vac. Sci. Technol. 12, 126 (1975)
- Дж. Хирт, И. Лоте. Теория дислокаций. М. Атомиздат. (1972). 600 c
- Ю.Г. Сидоров, М.В. Якушев, А.В. Колесников. Автометрия 50, 25 (2014)
- M.A. Berding, W.D. Nix, D.R. Rhiger, S. Sen, A. Sheer. J. Electron. Mater. 29, 676 (2000)
- F. Riesz. J. Appl. Phys. 79, 4111 (1996)
- Yu.B. Bolkhovityanov, L.V. Sokolov. Semicond. Sci. Technol. 27, 1 (2012)
- Е.М. Труханов, А.В. Колесников, И.Д. Лошкарев. Поверхность 5, 100 (2014)
- S. Farrell, M.V. Rao, G. Brill, Y. Chen, P.W. Wijewarnasuriya, N. Dhac, D. Benson, K. Harris. J. Electron. Mater. 40, 1727 (2011)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.