Влияние процессов в факеле при лазерной абляции на удельное сопротивление и морфологию нанокристаллических пленок ZnO
Агеев О.А.1, Достанко А.П.2, Замбург Е.Г.1, Коноплев Б.Г.1, Поляков В.В.1, Чередниченко Д.И.1
1Южный федеральный университет, Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения, Таганрог, Россия
2Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск, Беларусь
Email: zamburg.evgeniy@gmail.com
Поступила в редакцию: 22 января 2015 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2015 г.
Изучены особенности формирования нанокристаллических пленок ZnO методом импульсного лазерного осаждения при различных расстояних мишень-подложка. Получены выражения для оценки температуры, концентрации частиц и давления в факеле при лазерной абляции. Проведена оценка влияния этих параметров на электрофизические свойства нанокристаллических пленок ZnO, полученных методом импульсного лазерного осаждения. Продемонстрирована возможность контролируемого получения нанокристаллических пленок ZnO с шероховатостью поверхности в диапазоне 2-15 nm, диаметром зерен в интервале 70-620 nm, удельным сопротивлением в диапазоне (1.75-5.3)·10-3 Omega·cm. Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ (соглашение N 14-08-90010 Бел_а), БРФФИ в рамках научного проекта N Т14Р-165 и проектной части государственного задания в сфере научной деятельности (задание N 16.1154.2014/K). Результаты получены с использованием оборудования Центра коллективного пользования и Научно-образовательного центра "Нанотехнологии" Южного федерального университета.
- H. Morkoc, U. Ozgur. Zinc oxide fundamentals, materials and device technology. Wiley-VCH Verlag, GmbH \& Co., Weinheim (2009). 488 p
- E.G. Zamburg, O.A. Ageev, E.Y. Gusev, D.E. Vakulov, Z.E. Vakulov, A.V. Shumov, M.N. Ivonin. Appl. Mech. Mater. 475-476, 446 (2014)
- А.П. Достанко, О.А. Агеев, Д.А. Голосов, С.М. Завадский, Е.Г. Замбург, Д.Е. Вакулов, З.Е. Вакулов. ФТП 48, 9, 1274 (2014)
- С.И. Анисимов, Я.А. Имас, Г.С. Романов, Ю.В. Ходыко. Действие излучения большой мощности на металлы. Наука, М. (1970). 272 с
- Л.Д. Ландау, Е.М. Лифшиц. Механика сплошных сред. Гостехиздат, М. (1954). 788 с
- K.R. Chen, J.N. Leboeuf. J. Vac. Sci. Technol. A 14, 3, 5 (1996)
- О.А. Агеев, А.С. Коломийцев, А.В. Михайличенко, В.А. Смирнов, В.В. Пташник, М.С. Солодовник, А.А. Федотов, Е.Г. Замбург, В.С. Климин, О.И. Ильин, А.Л. Громов, А.В. Рукомойкин. Извю ЮФУ. Техн. науки 114, 1, 109 (2011)
- O.A. Ageev, D.A. Golosov, E.G. Zamburg, A.M. Alexeev, D.E. Vakulov, Z.E. Vakulov, A.V. Shumov A.V., M.N. Ivonin. Appl. Mech. Mater. 481, 55 (2014)
- И.К. Кикоин Таблицы физических величин. Атомиздат, М. (1976). 1005 c
- Я.И. Френкель Кинетическая теория жидкостей. Наука, Л. (1975). 592 с
- Ю.В. Корицкий, В.В. Пасынков, Б.М. Тареев. Справочник по электротехническим материалам. Энергоатомиздат, Л. (1988). 728 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
