Структурные свойства пленочного титаната бария-стронция в зависимости от технологических условий роста пленок
Тумаркин А.В.1, Альмяшев В.И.1, Разумов С.В.1, Гайдуков М.М.1, Гагарин А.Г.1, Алтынников А.Г.1, Козырев А.Б.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: avtumarkin@yandex.ru
Выставление онлайн: 17 февраля 2015 г.
Исследованы структурные свойства сегнетоэлектрических пленок титаната бария-стронция различного состава в зависимости от технологических условий осаждения. Показано, что температура осаждения оказывает прямое влияние на фазовый и компонентный состав пленок, параметры кристаллической решетки и размеры кристаллитов. При температуре осаждения порядка 600oC наряду с фазой титаната бария-стронция образуются примесные фазы полититанатов стронция. При увеличении температуры до 880oC в пленках наблюдается недостаток бария по сравнению с распыляемой мишенью. Оценена температура осаждения, обеспечивающая стехиометрический перенос компонентного состава мишени в пленку титаната бария-стронция. Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ в рамках научного проекта N 13-02-12096 офи_м и Минобрнауки РФ.
- M.W. Cole, C.V. Weiss, E. Ngo, S. Hirsch, L.A. Coryell, S.P. Alpay. Appl. Phys. Lett. 92, 182 906 (2008)
- L. Yang, F. Ponche, G. Wang, D. Remiens, J.-F. Legier, D. Chateigner, X. Dong. Appl. Phys. Lett. 97, 162 909 (2010)
- О.Г. Вендик. ФТТ 51, 1441 (2009)
- А.В. Тумаркин, Е.Р. Тепина, Е.А. Ненашева, Н.Ф. Картенко, А.Б. Козырев. ЖТФ 82, 6, 53 (2012)
- О.Ю. Буслов, В.Н. Кейс, A.Б. Козырев, И.В. Котельников, П.В. Кулик. ЖТФ 75, 9, 89 (2005)
- А.Б. Козырев, А.В. Иванов, О.И. Солдатенков, А.В. Тумаркин, С.В. Разумов, С.Ю. Айгунова. Письма в ЖТФ 27, 24, 16 (2001)
- А.Б. Козырев, М.М. Гайдуков, А.Г. Гагарин, А.В. Тумаркин, С.В. Разумов. Письма в ЖТФ 28, 6, 51 (2002)
- A.P. Barranco. Advances in ferroelectrics. In Tech, Havana (2012). 532 p
- С.А. Кукушкин, В.В. Слезов. Дисперсные системы на поверхности твердых тел. Механизмы образования тонких пленок (эволюционный подход). Наука, СПб (1996). 304 с
- М.М. Гайдуков, А.В. Тумаркин, А.Г. Гагарин, А.Б. Козырев. Письма в ЖТФ 40, 8, 37 (2014)
- А.В. Тумаркин, И.Т. Серенков, В.И. Сахаров. ФТТ 52, 2397 (2010)
- B. Zhang, T. Guo, T.-Y. Zhang, Y.-Z. Wang, Z.-C. Quan. Trans. Nonferrous Met. Soc. China 16, 126 (2006)
- H.W. Chen, C.R. Yang, B. Wang, H. Ji, J.H. Zhang. J. Appl. Phys. 105, 034 112 (2009)
- W.-C. Shih, M.-H. Chiang. J. Mater. Sci.: Mater. Electron. 21, 844 (2010)
- S.V. Razumov, A.V. Tumarkin, M.M. Gaidukov, A.G. Gagarin, A.B. Kozyrev, O.G. Vendik, A.V. Ivanov, O.U. Buslov, V.N. Keys, L.C. Sengupta, X. Zhang. Appl. Phys. Lett. 81, 1675 (2002)
- Ю.Я. Томашпольский. Пленочные сегнетоэлектрики. Радио и связь, М. (1984). 191 с
- В.А. Рабинович, З.Я. Хавин. Краткий химический справочник. Химия, Л. (1991). 432 с
- K. Shibuya, S. Mi, C.-L. Jia, P. Meuffels, R. Dittmann. Appl. Phys. Lett. 92, 241 918 (2008)
- A. Lotnyk, S. Senz, D. Hesse. Acta Mater. 55, 2671 (2007)
- A. Lotnyk, S. Senz, D. Hesse. Solid State Ionics 177, 429 (2006)
- Ю.Я. Томашпольский, Г.Л. Платонов. Сегнетоэлектрические пленки сложных окислов металлов. Металлургия, М. (1978). 200 с
- W.J.M. Van der Kemp, J.G. Blok, P.R. Van der Linde, H.A.J. Oonk, A. Schuijff, M.L. Verdonk. CALPHAD: Comput. Coupling Phase Diagrams Thermochem. 18, 255 (1994)
- J.J. Ritter, R.S. Roth, J.E. Blendell. J. Am. Ceram. Soc. 69, 155 (1986)
- A. Cocco, F. Massazza. Ann. Chim. (Rome), 53, 883 (1963)
- G.V. Belov, V.S. Iorish, V.S. Yungman. CALPHAD: Comput. Coupling Phase Diagrams Thermochem. 23, 173 (1999)
- Е.К. Казенас, Ю.В. Цветков. Термодинамика испарения оксидов. Изд-во ЛКИ, М. (2008). 480 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.