Вышедшие номера
Структурные свойства пленочного титаната бария-стронция в зависимости от технологических условий роста пленок
Тумаркин А.В.1, Альмяшев В.И.1, Разумов С.В.1, Гайдуков М.М.1, Гагарин А.Г.1, Алтынников А.Г.1, Козырев А.Б.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: avtumarkin@yandex.ru
Выставление онлайн: 17 февраля 2015 г.

Исследованы структурные свойства сегнетоэлектрических пленок титаната бария-стронция различного состава в зависимости от технологических условий осаждения. Показано, что температура осаждения оказывает прямое влияние на фазовый и компонентный состав пленок, параметры кристаллической решетки и размеры кристаллитов. При температуре осаждения порядка 600oC наряду с фазой титаната бария-стронция образуются примесные фазы полититанатов стронция. При увеличении температуры до 880oC в пленках наблюдается недостаток бария по сравнению с распыляемой мишенью. Оценена температура осаждения, обеспечивающая стехиометрический перенос компонентного состава мишени в пленку титаната бария-стронция. Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ в рамках научного проекта N 13-02-12096 офи_м и Минобрнауки РФ.