Вышедшие номера
Деградация емкости межфазной границы SrRuO3/SrTiO3, индуцированная механическими напряжениями
Бойков Ю.А.1, Клаесон Т.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Чалмерский технический университет, Гетеборг, Швеция
Email: yu.boikov@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 14 мая 2014 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2014 г.

Методом лазерного испарения выращены трехслойные эпитаксиальные гетероструктуры, в которых промежуточный слой SrTiO3 толщиной в 700 nm интегрирован с двумя электродами SrRuO3. В верхнем электроде с использованием фотолитографии и ионного травления были сформированы два десятка контактных площадок (S~ 0.1 mm2). Нижний электрод SrRuO3, выращенный на подложке (001)MgO, являлся общим для всех пленочных конденсаторов на чипе. С понижением температуры в интервале 300-50 K емкость C конденсаторов возрастала более чем в два раза вследствие увеличения диэлектрической проницаемости varepsilon промежуточного слоя. При T=4.2 K уменьшение C при подаче на оксидные электроды напряжения смещения ±2.5 V составляло порядка 40%. В интервале температуры 100-300 K отношение varepsilon0/varepsilon практически линейно возрастало с температурой (varepsilon0 - диэлектрическая проницаемость вакуума). При T>250 K тангенс угла диэлектрических потерь промежуточного слоя SrTiO3 экспоненциально возрастал с температурой и существенно зависел от напряжения смещения, поданного на оксидные электроды.