Рентгенодифракционное определение степени упорядочения твердого раствора в эпитаксиальных слоях AlGaN
Кютт Р.Н.1,2, Иванов С.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия
Email: r.kyutt@vail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 21 мая 2014 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2014 г.
По схеме Реннингера измерена трехволновая дифракция в эпитаксиальных слоях твердого раствора AlxGa1-xN. Из сравнения с аналогичными диаграммами, измеренными ранее для слоев GaN и AlN, следует, что кривые для твердого раствора показывают заметно большую интенсивность в области азимутальных углов вне трехволновых пиков. Это указывает на существование двухволнового брэгговского отражения 0001, запрещенного для вюрцитных структур. Показано, что его появление связано с частичным упорядочением твердого раствора в слоях AlxGa1-xN. Из полученных экспериментально значений структурного фактора F(0001) для слоев с разной концентрацией Al следует, что степень упорядочения (избыток Al в одной из катионных плоскостей AlGa и недостаток в другой) для данной серии образцов практически не зависит от состава слоя твердого раствора.
- J. Blasing, A. Krost. Phys. Status Solidi A 201, R17 (2004)
- Р.Н. Кютт. Письма в ЖТФ 36, 15, 14 (2010)
- Р.Н. Кютт. ЖТФ 81, 5, 81 (2011)
- R.N. Kyutt, M.P. Scheglov. Phys. Status Solidi C 10, 476 (2013)
- R.N. Kyutt, M.P. Scheglov. J. Appl. Cryst. 46, 861 (2013)
- V.V. Ratnikov, R.N. Kyutt, T.V. Shubina, T. Pashkova, B. Monemar. J. Phys. D 34, A30 (2001)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.