Вышедшие номера
Рентгенодифракционное определение степени упорядочения твердого раствора в эпитаксиальных слоях AlGaN
Кютт Р.Н.1,2, Иванов С.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия
Email: r.kyutt@vail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 21 мая 2014 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2014 г.

По схеме Реннингера измерена трехволновая дифракция в эпитаксиальных слоях твердого раствора AlxGa1-xN. Из сравнения с аналогичными диаграммами, измеренными ранее для слоев GaN и AlN, следует, что кривые для твердого раствора показывают заметно большую интенсивность в области азимутальных углов вне трехволновых пиков. Это указывает на существование двухволнового брэгговского отражения 0001, запрещенного для вюрцитных структур. Показано, что его появление связано с частичным упорядочением твердого раствора в слоях AlxGa1-xN. Из полученных экспериментально значений структурного фактора F(0001) для слоев с разной концентрацией Al следует, что степень упорядочения (избыток Al в одной из катионных плоскостей AlGa и недостаток в другой) для данной серии образцов практически не зависит от состава слоя твердого раствора.