Два режима создания трехмерных субмикронных структур методом лазерной литографии
Шишкин И.И.1,2, Самусев К.Б.1,2, Рыбин М.В.1,2, Лимонов М.Ф.1,2, Киян Р.В.3, Чичков Б.Н.3, Кившарь Ю.С.1,4, Белов П.А.1
1Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
3Laser Zentrum Hannover, Hannover, Germany
4Nonlinear Physics Center, Australian National University, Canberra, Australia
Email: m.rybin@mail.ioffe.ru
Выставление онлайн: 20 октября 2014 г.
Проведено исследование режимов создания трехмерных структур субмикронных размеров методом лазерной литографии, который основан на эффекте порогового процесса двухфотонной полимеризации фоточувствительного материала в фокусе лазерного луча. Для определения рабочей области литографа в координатах "мощность лазера-скорость перемещения образца относительно фокуса лазера" была изготовлена серия фотонных кристаллов с симметрией "поленницы" (woodpile structure). Детально анализируются два метода создания трехмерных структур - метод "растрового сканирования" и метод "векторной графики". На примере кристаллов инвертированного яблоновита продемонстрированы преимущества метода "векторной графики" для создания периодических структур. Полученные образцы изучались методом сканирующей электронной микроскопии. Работа выполнена при поддержке Правительства Российской Федерации (грант 074-U01) и Российского фонда фундаментальных исследований (грант N 13-02-00186).
- S. Kawata, H.-B. Sun, T. Tanaka, K. Takada. Nature 412, 697 (2001)
- A. Ovsianikov, J. Viertl, B. Chichkov, M. Oubaha, B. MacCraith, I. Sakellari, A. Giakoumaki, D. Gray, M. Vamvakaki, M. Farsari, C. Fotakis. ACS Nano 2, 2257 (2008)
- M. Farsari, B.N. Chichkov. Nature Photou. 3, 450 (2009)
- M. Goppert-Mayer. Ann. Phys. 401, 273 (1931)
- J.H. Strickler, W.W. Webb. In: Rochester, CAN-AM. International Society for Optics and Photonics (1991). P. 107--118
- D.A. Parthenopoulos, P.M. Rentzepis. Science 245, 843 (1989)
- S. Maruo, O. Nakamura, S. Kawata. Opt. Lett. 22, 132 (1997)
- W. Haske, V.W. Chen, J.M. Hales, W. Dong, S. Barlow, S.R. Marder, J.W. Perry. Opt. Express 15, 3426 (2007)
- J.D. Joannopoulos, S.G. Johnson, J.N. Winn, R.D. Meade. Photonic Crystals: Molding the Flow of Light 2nd ed. Princeton Univ. Press (2008)
- C. De Marco, A. Gaidukeviciute, R. Kiyan, S.M. Eaton, M. Levi, R. Osellame, B.N. Chichkov, S. Turri. Langmuir 29, 426 (2013)
- S.H. Park, S.H. Lee, D.-Y. Yang, H.J. Kong, K.-S. Lee. Appl. Phys. Lett. 87, 154 108 (2005)
- И.И. Шишкин, К.Б. Самусев, М.В. Рыбин, М.Ф. Лимонов, Ю.С. Кившарь, А. Гайдукевийчуте, Р.В. Киян, Б.Н. Чичков. Письма в ЖЭТФ 95, 518 (2012)
- И.И. Шишкин, К. Самусев, М. Рыбин, М. Лимонов, Ю. Кившарь, А. Гайдукевийчуте, Р. Киян, Б. Чичков. ФТТ 54, 1852 (2012)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
