Исследование механических свойств тонких пленок Ag на кремниевой подложке методом наноиндентирования
Панин А.В.1, Шугуров А.Р.1,2, Оскомов К.В.2,3
1Институт физики прочности и материаловедения Сибирского отделения Росссийской академии наук, Томск, Россия
2Национальный исследовательский Томский государственный университет, Томск, Россия
3Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия
Email: pav@ms.tsc.ru
Поступила в редакцию: 22 февраля 2005 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2005 г.
Исследованы механические свойства тонких пленок Ag одинаковой толщины с различным размером зерен. Твердость пленок определялась с использованием методов Оливера-Фарра, из определения работы индентирования, а также путем непосредственного измерения площади отпечатка индентора по АСМ-изображениям. Для исключения влияния подложки на измеренные значения твердости применялась методика определения истинной твердости пленок. Установлено, что твердость пленок Ag уменьшается с ростом среднего размера зерна, в то время как модуль упругости практически не изменяется. Показано, что зависимость предела текучести пленок Ag от размера зерна не совпадает с классическим законом Холла-Петча. Работа выполнена при поддержке Российского фонда содействия науке, а также Министерства образования РФ и CRDF в рамках программы BRHE (проект N 016-02).
- W.D. Nix. Met. Trans. 20A, 2217 (1989)
- R.P. Vinci, E.M. Zielinski, J.C. Bravman. Thin Solid Films 262, 142 (1995)
- T.L. Alford, L. Chen, K.S. Gadre. Thin Solid Films 429, 248 (2003)
- R. Saha, W.D. Nix. Acta Mater. 50, 23 (2002)
- J.R. Tuck, A.M. Korsunsky, S.J. Bull, R.I. Davidson. Surf. Coat. Technol. 137, 217 (2001)
- A.M. Korsunsky, M.R. McGurk, S.J. Bull, T.F. Page. Surf. Coat. Technol. 99, 171 (1998)
- T.Y. Tsui, C.A. Ross, G.M. Pharr. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 473, 57 (1997)
- Р.А. Андриевский, Г.В. Калинников, N. Hellgren, P. Sandstom, Д.В. Штанский. ФТТ 42, 9, 1624 (2000)
- Ю.И. Головин, А.И. Тюрин, В.В. Хлебников. ЖТФ 75, 4, 91 (2005)
- Я.М. Сойфер, А. Вердян. ФТТ 45, 9, 1621 (2003)
- R. Saha, Z. Xue, Y. Huang, W.D. Nix. J. Mech. Phys. Sol. 49, 1997 (2001)
- W. Oliver, G. Pharr. J. Mater. Res. 7, 6, 1564 (1992)
- D. Tabor. The hardness of metals. Clarendon Press, London (1951). 175 p
- L.B. Freund. J. Appl. Mech. 54, 553 (1987)
- T.H. Courtney. Mechanical behavior of materials. McGraw-Hill, N.Y. (1990). 710 p
- М.Ю. Гуткин, И.А. Овидько. Успехи механики 2, 1, 68 (2003)
- В.А. Поздняков. ФММ 96, 1, 114 (2003)
- R. Venkatraman, J.C. Bravman. J. Mater. Res. 7, 8, 2040 (1992)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
