Вышедшие номера
Исследование механических свойств тонких пленок Ag на кремниевой подложке методом наноиндентирования
Панин А.В.1, Шугуров А.Р.1,2, Оскомов К.В.2,3
1Институт физики прочности и материаловедения Сибирского отделения Росссийской академии наук, Томск, Россия
2Национальный исследовательский Томский государственный университет, Томск, Россия
3Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия
Email: pav@ms.tsc.ru
Поступила в редакцию: 22 февраля 2005 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2005 г.

Исследованы механические свойства тонких пленок Ag одинаковой толщины с различным размером зерен. Твердость пленок определялась с использованием методов Оливера--Фарра, из определения работы индентирования, а также путем непосредственного измерения площади отпечатка индентора по АСМ-изображениям. Для исключения влияния подложки на измеренные значения твердости применялась методика определения истинной твердости пленок. Установлено, что твердость пленок Ag уменьшается с ростом среднего размера зерна, в то время как модуль упругости практически не изменяется. Показано, что зависимость предела текучести пленок Ag от размера зерна не совпадает с классическим законом Холла--Петча. Работа выполнена при поддержке Российского фонда содействия науке, а также Министерства образования РФ и CRDF в рамках программы BRHE (проект N 016-02).
  1. W.D. Nix. Met. Trans. 20A, 2217 (1989)
  2. R.P. Vinci, E.M. Zielinski, J.C. Bravman. Thin Solid Films 262, 142 (1995)
  3. T.L. Alford, L. Chen, K.S. Gadre. Thin Solid Films 429, 248 (2003)
  4. R. Saha, W.D. Nix. Acta Mater. 50, 23 (2002)
  5. J.R. Tuck, A.M. Korsunsky, S.J. Bull, R.I. Davidson. Surf. Coat. Technol. 137, 217 (2001)
  6. A.M. Korsunsky, M.R. McGurk, S.J. Bull, T.F. Page. Surf. Coat. Technol. 99, 171 (1998)
  7. T.Y. Tsui, C.A. Ross, G.M. Pharr. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 473, 57 (1997)
  8. Р.А. Андриевский, Г.В. Калинников, N. Hellgren, P. Sandstom, Д.В. Штанский. ФТТ 42, 9, 1624 (2000)
  9. Ю.И. Головин, А.И. Тюрин, В.В. Хлебников. ЖТФ 75, 4, 91 (2005)
  10. Я.М. Сойфер, А. Вердян. ФТТ 45, 9, 1621 (2003)
  11. R. Saha, Z. Xue, Y. Huang, W.D. Nix. J. Mech. Phys. Sol. 49, 1997 (2001)
  12. W. Oliver, G. Pharr. J. Mater. Res. 7, 6, 1564 (1992)
  13. D. Tabor. The hardness of metals. Clarendon Press, London (1951). 175 p
  14. L.B. Freund. J. Appl. Mech. 54, 553 (1987)
  15. T.H. Courtney. Mechanical behavior of materials. McGraw-Hill, N.Y. (1990). 710 p
  16. М.Ю. Гуткин, И.А. Овидько. Успехи механики 2, 1, 68 (2003)
  17. В.А. Поздняков. ФММ 96, 1, 114 (2003)
  18. R. Venkatraman, J.C. Bravman. J. Mater. Res. 7, 8, 2040 (1992)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.