Вышедшие номера
Рентгеновский и люминесцентный анализ мелкодисперсных пленок beta-FeSi2, сформированных в Si импульсной ионной обработкой
Баязитов Р.М.1, Баталов Р.И.1, Теруков Е.И., Кудоярова В.Х.
1Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского, ФИЦ Казанский научный центр РАН, Казань, Россия
Email: kudoyarova@pop.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 8 февраля 2001 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2001 г.

Мелкодисперсные пленки beta-FeSi2 сформированы путем имплантации монокристаллического Si ионами Fe+ с энергией 40 keV и дозой 1· 1016 cm-2 с последующей наносекундной ионно-импульсной обработкой. Результаты скользящей рентгеновской дифракции свидетельствуют о формировании сильно текстурированной пленки, состоящей из включений фазы силицида железа (beta-FeSi2) с размерами зерен около 40 nm, окруженных поликристаллической Si-матрицей. Данные фотолюминесцентной спектроскопии свидетельствуют о том, что сигнал фотолюминесценции с максимумом около 1.56 mum, наблюдающийся до 210 K, связан с прямыми межзонными переходами в beta-FeSi2, а не с вкладом дислокационной линии D1. Работа выполнена при поддержке НОЦ КГУ в рамках программы "Материалы и технологии XXI века" (BRHE REC-007), Российского фонда фундаментальных исследований в рамках программы (N 01-02-16649), а также госпрограммы МНРФ (проект N 9B 41.108Ф).
  1. G. Franzo, F. Priolo, S. Coffa, A. Polman, A. Carnera. Appl. Phys. Lett. 64, 2235 (1994)
  2. W. Fuhs, I. Ulber, G. Weiser, M.S. Bresler, O.B. Gusev, A.N. Kuznetsov, V.Kh. Kudoyarova, E.I. Terukov, I.N. Yassievich. Phys. Rev. B56, 9545 (1997)
  3. A. Reittinger, J. Stimmer, G. Abstreiter. Appl. Phys. Lett. 70, 2431 (1997)
  4. H. Karsumata, Y. Makita, N. Kobayashi, H. Shibata, M. Hasegawa, I. Aksenov, S. Kimura, A. Obara, S. Uekusa. J. Appl. Phys. 80, 5955 (1996)
  5. K.J. Reeson, M.S. Finney, M.A. Harry, S.V. Hutchison, Y.S. Tan, D. Leong, T.R. Bearda, Z. Yang, G. Curello, K.P. Homewood, R.M. Gwilliam, B.J. Sealy. Nucl. Instr. Meth. B106, 364 (1995)
  6. M.G. Grimaldi, S. Coffa, C. Spinella, F. Marabelli, M. Galli, L. Miglio, V. Meregalli. J. Lumin. 80, 467 (1999)
  7. C. Spinella, S. Coffa, C. Bongiorno, S. Pannitteri, M.G. Grimaldi. Appl. Phys. Lett. 76, 173 (2000)
  8. K.P. Homewood, K.J. Reeson, R.M. Gwilliam, A.K. Kewell, M.A. Lourenco, G. Shao, Y.L. Chen, J.S. Sharpe, C.N. McKinty, T. Butler. Thin Solid Films 381, 188 (2001)
  9. K. Oyoshi, D. Lenssen, R. Carius, S. Mantl. Thin Solid Films 381, 194; 202 (2001)
  10. T. Suemasu, Y. Iikura, K. Takakura, F. Hasegawa. J. Lumin. 87--89, 528 (2000)
  11. T. Suemasu, Y. Negishi, K. Takakura, F. Hasegawa. Jpn. J. Appl. Phys. 39, L1013 (2000)
  12. B.O. Kolbesen, H. Cerva. Phys. Stat. Sol. (b) 222, 303 (2000)
  13. R. Hodgson, J.E.E. Baglin, R. Pal, J.M. Neri, D.A. Hammer. Appl. Phys. Lett. 37, 187 (1980)
  14. L.J. Chen, L.S. Hung, J.W. Mayer, J.E.E. Baglin, J.M. Neri, D.A. Hammer. Appl. Phys. Lett. 40, 595 (1982)
  15. R.M. Bayazitov, L.Kh. Zakirzyanova, I.B. Khaibullin, I.F. Isakov, A.F. Chachakov. Vacuum 43, 619 (1992)
  16. R.M. Bayazitov, L.Kh. Antonova, I.B. Khaibullin, G.E. Remnev. Nucl. Instr. Meth. B139, 418 (1998)
  17. R.M. Bayazitov, R.I. Batalov. J. Phys.: Cond. Matter 13, L113 (2001)
  18. M. Ferrari, L. Lutterotti. J. Appl. Phys. 76, 7246 (1994)
  19. Н.А. Дроздов, А.А. Патрин, В.Д. Ткачев. Письма в ЖЭТФ 23, 11, 651 (1976)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.