Издателям
Вышедшие номера
Особенности профилей распределения по глубине ионов металлов, имплантированных в диэлектрики при низких энергиях
Степанов А.Л.1, Жихарев В.А.2, Хайбуллин И.Б.2
1Институт физики 1, Технический университет Аахена, Аахен, Германия
2Казанский физико-технический институт Российской академии наук, Казань, Россия
Email: stepanov@physik.rwth-aachen.de
Поступила в редакцию: 11 августа 2000 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2001 г.

Моделирование профилей распределения ионов Cu+, Ag+ и Au+ при имплантации в аморфные диэлектрики SiO2, Al2O3 и сода-натриевое силикатное стекло проведено при помощи программы DYNA, алгоритм которой основан на эффектах парных столкновений внедряемых ионов с атомами подложки, приводящих к динамическому изменению фазового состава приповерхностного слоя облучаемого материала, а также с учетом явления поверхностного распыления. Рассмотрены случаи ионной имплантации дозами =< 1016 cm-2 при низких энергиях 30, 60 и 100 keV. Проведено сравнение полученных результатов по динамическому изменению профилей распределения концентрации имплантированных ионов в зависимости от дозы со стандартным статическим распределением, рассчитаным по TRIM-алгоритму. Работа поддержана Российским фондом фундаментальных исследований (N 99-02-17767).
  1. P.D. Townsend, P.J. Chandler, L. Zhang. Optical effects of ion implantation. University Press, Cambridge (1994). 157 p
  2. А.Л. Степанов, И.Б. Хайбуллин, П. Таунсенд, Д. Холе, А.А. Бухараев. Патент РФ N 99106057/28 (006367) (1999)
  3. С.Н. Абдуллин, А.Л. Степанов, Р.И. Хайбуллин, В.Ф. Валеев, Ю.Н. Осин, И.Б. Хайбуллин. ФТТ 38, 8, 2574 (1996)
  4. С.Н. Абдуллин, А.Л. Степанов, Р.И. Хайбуллин, И.Б. Хайбуллин. Патент РФ N 2096835 (1996)
  5. I. Sakamoto, S. Honda, H. Tanoue, N. Hayashi, H. Yamane. Nucl. Instr. Meth. B148, 1039 (1999)
  6. А.А. Бухарев, А.В. Казаков, Р.В. Манапов, И.Б. Хайбуллин. ФТТ 33, 4, 1018 (1991)
  7. А.Л. Степанов. Опт. и спектр. 89, 3, 444 (2000)
  8. A.L. Stepanov, D.E. Hole, P.D. Townsend. J. Non-Cryst. Sol. 244, 275 (1999)
  9. J.F. Ziegler, J.P. Biersak, U. Littmark. The Stopping and range of ions in solids. Pergamon, N.Y. (1996). 192 p
  10. D.E. Hole, A.L. Stepanov, P.D. Townsend. Nucl. Instr. Meth. B148, 1054 (1999)
  11. П. Зигмунд. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Мир, М. (1984). 150 с
  12. В.М. Коноплев. Поверхность, 2, 207 (1986)
  13. V.M. Konoplev. Rad. Eff. Lett. 87, 207 (1986)
  14. V.M. Konoplev, M. Vicanek, A. Gras-Marti. Nucl. Instr. Meth. B67, 574 (1992)
  15. M. Nastasi, J.W. Mayer, J.K. Hirvonen. Ion-solid interactions: Fundamentals and applications. University Press Cambrige, (1996). 278 p
  16. Hideo Hosono Phys. Rev. Lett. 74, 110 (1995)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.