Акустоэмиссионное зондирование линейных дефектов в кремнии
Скворцов А.А.1, Орлов А.М.1, Соловьев А.А.1
1Ульяновский государственный университет, Ульяновск, Россия
Поступила в редакцию: 14 июля 2000 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2001 г.
Исследована акустическая эмиссия донорного кремния. Показано, что звуковое излучение обусловлено электростимулированным движением краевых дислокаций. Обнаружена корреляция максимума спектра акустической эмиссии кремния и скорости движения линейных дефектов при варьировании плотности тока, текущего через дислокационный образец. Согласование теории с экспериментом позволило оценить численные значения коэффициентов диффузии атомов в дислокационной примесной атмосфере и эффективного заряда, приходящегося на один атом дислокационной линии при различных временах (0.3-3 h) изотермического отжига (1273 K) кремниевых образцов. Работа выполнена при финансовой поддержке программы Минвуза "Деградационные процессы в многослойных тонкопленочных структурах" и гранта Российского фонда фундаментальных исследований N 98-02-03335.
- В.А. Грешников, Ю.Б. Дробот. Акустическая эмиссия. Изд-во стандартов, М. (1976). 243 с
- Т. Судзуки, Х. Есинага, С. Такеути. Динамика дислокаций и пластичность. Мир, М. (1989). 296 с
- А.М. Косевич. Дислокации в теории упругости. Наук. думка, Киев (1978). 234 с
- А.М. Орлов, А.А. Скворцов, В.А. Фролов. Письма в ЖТФ 25, 3, 28 (1999)
- А.А. Скворцов, А.М. Орлов, В.А. Фролов, А.А. Соловьев. ФТТ 42, 11, 1998 (2000)
- В.Д. Нацик, К.А. Чишко. ФТТ 14, 11, 3126 (1972)
- Ж. Фридель. Дислокации. Мир, М. (1967). 626 с.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.