Издателям
Вышедшие номера
Реактивная эпитаксия дисилицида кобальта на Si(111)
Гомоюнова М.В.1, Пронин И.И.1, Валдайцев Д.А.1, Фараджев Н.С.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 4 июля 2000 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2001 г.

Изучен механизм начальных стадий силицидообразования при нанесении Co в диапазоне 1-10 монослоев на нагретый кристалл Si(111) 7x 7. При получении структурных данных использовался оригинальный метод дифракции неупруго отраженных электронов средней энергии, отображающий атомное строение поверхностных слоев в реальном пространстве. Элементный состав анализируемой приповерхностной области исследовался методом электронной Оже-спектроскопии. Показано, что в условиях реактивной эпитаксии на Si(111) растет эпитаксиальная пленка CoSi2(111) B-ориентации. При этом на начальных стадиях нанесения кобальта (1-3 монослоя) реализуется островковая мода роста. Элементный состав поверхности пленки CoSi2(111) толщиной около 30 Angstrem такой же, как у объемного дисилицида кобальта, и она оканчивается триадой монослоев Si-Co-Si. Работа выполнена в рамках направления "Поверхностные атомные структуры" (проект N 5.10.99).
  • L.J. Chen, K.N. Tu. Mater. Sci. Rep. 7, 53 (1991)
  • S. Saitoh, H. Ishiwara, S. Furukawa. Appl. Phys. Lett. 37, 2, 203 (1980)
  • C. Pirri, J.C. Peruchetti, G. Gewinner, J. Derrien. Phys. Rev. B29, 6, 3391 (1984)
  • J. Dirrien. Surf. Sci. 168, 1, 171 (1986)
  • S.A. Chambers, S.B. Anderson, H.W. Chen, J.H. Weaver. Phys. Rev. B34, 2, 913 (1986)
  • F. Boschrini, J.J. Joyce, M.W. Ruckincn, J.H. Weaver. Phys. Rev. B35, 9, 4216 (1987)
  • D.D. Chambliss, T.N. Rhodin, J.E. Rowe, H. Shigekawa. J. Vac. Sci. Technol. A7, 3, 2449 (1989)
  • A. Bensaoula, J.Y. Veuillen, T.T.A. Nguyen. J. Derrien, M. De Crescenzi. Surf. Sci. 241, 3, 425 (1991)
  • H. von Kanel. Mater. Sci. Rep. 8, 193 (1992)
  • C.W.T. Bulle-Lieuwna. Appl. Surf. Sci. 68, 1, 1 (1993)
  • N.I. Plusnin, A.P. Milenin, D.P. Prihodko. PLDS 9/10, 107 (1999)
  • Y. Hayashi, M. Yoshinaga, H. Ikeda, S. Zaima, Y. Yasuda. Surf. Sci. 438, 1, 116 (1999)
  • C.D. Anterroches. Surf. Sci. 168, 1, 751 (1986)
  • R.T. Tung, J.L. Batstone. Appl. Phys. Lett. 52, 19, 1611 (1988)
  • J. Derrien, M. De Crescenzi, E. Chainet, C. d'Anterroches, C. Pirri, G. Gewinner, J.C. Peruchetti. Phys. Rev. B36, 12, 6681 (1987)
  • H. von Kanel, C. Schwarz, S. Gencalves-Conto. Phys. Rev. Lett. 74, 7, 1163 (1995)
  • H. Fujitani, S. Asano. Phys. Rev. B50, 12, 8681 (1994)
  • F. Arnaud, d' Avitayas, S. Delage, E. Rosencher, J. Derrien. J. Vac. Sci. Technol. B3, 2, 770 (1985)
  • М.В. Гомоюнова, И.И. Пронин, Н.С. Фараджев. ЖЭТФ 110, 1 ( 7), 311 (1996)
  • N.S. Faradzhev, M.V. Gomoyunova, I.I. Pronin. Phys. Low-Dim. Struct. 3/4, 93 (1997)
  • M. Erbudak, M. Hochstrasser, E. Wetli, M. Zurkirch. Surf. Rev. Lett. 4, 179 (1997)
  • I.I. Pronin, M.V. Gomoyunova. Progr. Surf. Sci. 59, 1--4, 53 (1998)
  • W.F. Egelhoff, jr. Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. 16, 213 (1990)
  • S.C. Fadley. In: Synchrotron Radiation Research. Advances in Surface and Interface Science. V. 1.: Techniques / Ed. by R.Z. Bachrach. Plenum Press, N. Y. (1992). Ch. 9. P. 421
  • S.A. Chambers. Surf. Sci. Rep. 16, 6, 261 (1992)
  • C. Pirri, S. Hong, M.H. Tuilier, P. Wetzel, G. Gewinner, R. Cortes. Phys. Rev. B50, 3, 1368 (1996)
  • И.И. Пронин, Д.А. Валдайцев, М.В. Гомоюнова, Н.С. Фараджев, А.Г. Банщиков. ЖТФ 68, 12, 80 (1998)
  • A. Ishizaka, Y. Shiraki. J. Electrochim. Soc. 133, 666 (1986)
  • И.И. Пронин, Н.С. Фараджев, М.В. Гомоюнова. ФТТ 39, 4, 752 (1997)
  • D.R. Haman. Phys. Rev. Lett. 60, 4, 313 (1988)
  • G. Rossi, A. Santaniello, P. De Padova, X. Jin, D. Chandesris. Europhys. Lett. 11, 3, 235 (1990)
  • P.A. Bennet, D.G. Cahill, M. Copel. Phys. Rev. Lett. 73, 3, 452 (1994)
  • F. Hellmann, R.T. Tung. Phys. Rev. B37, 18, 10 786 (1988)
  • U. Starke, J. Schardt, W. Weib, G. Rangelov, Th. Fauster, K. Heinz. Surf. Rev. Lett. 5, 1, 139 (1998)
  • A.E. Dolbak, B.Z. Olshanetsky, S.A. Teys. Phys. Low-Dim. Struct. 3/4, 113 (1997)
  • D.D. Chambliss, T.N. Rhodin, J.E. Rowe. Phys. Rev. B45, 3, 1193 (1992)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.