Вышедшие номера
Исследования зависимостей структуры и магнитных свойств пленок FeTaN от концентрации азота
Камзин А.С.1, Вей Фулинь2, Янг Зхенг2, Камзин С.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Научно-исследовательский институт магнитных материалов, Ланджоуский университет, Ланджоу, Китай
Email: Kamzin@pop.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 27 мая 2004 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2005 г.

Исследованы морфологии структуры и магнитные свойства тонких пленок FeTaN с высоким содержанием Ta (10 wt.%), синтезированных отжигом соединений, осажденных методом реактивного радиочастотного магнетронного распыления в газовой смеси Ar + N. Установлены зависимости свойств пленок FeTaN от содержания в них азота и температуры отжига. Определены режимы осаждения и термической обработки соединений FeTaN, при которых синтезируются наноструктурные тонкие пленки FeTaN с высокими магнитомягкими характеристиками Bs=1.6 T, Hc=0.2 Oe и mu1(1 MHz)=3400. Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант N 02-02-39006) и Национального фонда науки Китая.
  1. X. Sui, M.H. Kryder. Appl. Phys. Lett. 63, 1582 (1993)
  2. T. Kiyomura, Y. Maruo, M. Gomi. J. Appl. Phys. 88, 4768 (2000)
  3. B.Y. Wong, X. Sui, D.E. Laughlin, M.H. Kryder. J. Appl. Phys. 75, 5966 (1994)
  4. O. Kohomoto. IEEE Trans. Magn., MAG-27, 3640 (1991)
  5. S. Wang, M.H. Kryder. J. Appl. Phys. 69, 5625 (1991)
  6. D. Zheng, Y. Ma, D.Wu, T. Xie, F. Wei, Z. Yang. Phys. Stat. Sol. (a) 193, 61 (2002). B. Ma, F.L. Wei, X.X. Liu, C.T. Xiao, Z. Yang. Mater. Sci. Eng. B 57, 96 (1999)
  7. R.D. Pehkle, F. Elliott. IEEE Trans 218, 1088 (1960)
  8. K. Nakauishi, O. Shimiz, S. Yoshida. IEEE Trans. Magn., MAG-28, 7128 (1992)
  9. W.C. Chang, D.C. Wu, J.C. Lin, C.J. Chen. J. Appl. Phys. 79, 5159 (1996)
  10. M.K. Minor, B. Viala, J.A. Barnard. J. Appl. Phys. 79, 5005 (1996)
  11. Y. Ma, X. Li, T. Xie, F. Wei, Z. Yang. Mater. Sci. Eng. B 103, 233 (2003)
  12. F. Chen, Z. Zhigan, Z. Xu, C. Liao, C. Yan. Thin Solid Films 339, 109 (1999)
  13. S.A. Chambers, R.F.C. Farrow, S. Maat, M.F. Toney, L. Folks, J.G. Catalano, T.P. Trainor, G.E. Brown. Jr. J. Magn. Magn. Mater. 246, 124 (2002)
  14. K.H.J. Buschow. Handbook of Magnetic Materials. Vol. 10. D. Elesevier Science (1997). P. 433
  15. G. Herzer. IEEE Trans. Magn. 26, 1937 (1990)
  16. N. Hasegawa, M. Saito. IEEE Trans. Magn. Japan, MAG-6, 91 (1991)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.