Вышедшие номера
Home » Физика твердого тела » Год 2005, выпуск 2 » Статья стр. 242
<<<>>>
Структура и свойства покрытий Ti--B--N, Ti--Cr--B--(N) и Cr--B--(N), полученных магнетронным распылением мишеней, приготовленных методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза
Штанский Д.В.1, Кирюханцев-Корнеев Ф.В.1, Шевейко А.Н.1, Башкова И.А.1, Малочкин О.В.1, Левашов Е.А.1, Дьяконова Н.Б.2, Лясоцкий И.В.2
1Московский государственный институт стали и сплавов (Технологический университет), Москва, Россия
2ГНЦ "Центральный научно-исследовательский институт черной металлургии им. И.П. Бардина", Москва, Россия
Email: shtansky@shs.misis.ru
Поступила в редакцию: 24 июня 2004 г.
Выставление онлайн: 20 января 2005 г.
PDF версия
Методами просвечивающей и сканирующей электронной микроскопии, рентгенофазового анализа, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и атомно-силовой микроскопии исследованы структура и топография поверхности тонких пленок Ti-B-N, Ti-Cr-B-(N) и Cr-B-(N). Выполнен сравнительный анализ физических, механических и трибологических характеристик покрытий, включающий определение твердости, модуля упругости, упругого восстановления, критической нагрузки, коэффициента трения и скорости износа. Показано, что по своим физико-механическим и трибологическим свойствам покрытия Ti-B-N и Ti-Cr-B-N превосходят традиционные покрытия на основе TiN и Ti-C-N. Покрытия Ti-B-N и Ti-Cr-B-N, осажденные по оптимальным режимам, имели соответственно твердость 31-34 и 40-47 GPa, средний модуль упругости 378 и 506 GPa, коэффициент трения 0.49-0.6 и 0.45-0.52, скорость сухого износа (3.4-4.6)· 10-7 и (6.0-6.8)· 10-7 mm3N-1m-1 и максимальную критическую нагрузку 50 и 22 N. Обсуждаются особенности определения физико-механических свойств пленок при наноиндентировании и различный характер иx износа. Работа выполнена при финансовой поддержке Международного научно-технического центра (грант N 1852).
  1. P. Losbichler, C. Mitterer, P.N. Gibson, W. Gissler, F. Hofer, P. Warbichler. Surf. Coat. Technol. 94--95, 297 (1997)
  2. S. Veprek, P. Nesladek, A. Niederhofer, F. Glatz, M. Jilek, M. v Sima. Surf. Coat. Technol. 108--109, 138 (1998)
  3. R.A. Andrievski, G.V. Kalinnikov. Surf. Coat. Techn. 142--144, 573 (2001)
  4. Р.А. Андриевский, Г.В. Калинников, А.Е. Облезов, Д.В. Штанский. Докл. РАН 1, 384, 1 (2002)
  5. P. Karvankova, M.G.J. Veprek-Heijman, O. Zindulka, A. Bergmaier, S. Vepzek. Surf. Coat. Technol. 163--164, 149 (2003)
  6. C. Mitterer, P.H. Mayrhofer, J. Musil. Vacuum 71, 279 (2003)
  7. S. Veprek. J. Vac. Sci. Technol. 17, 5, 2401 (1999)
  8. Д.В. Штанский, Е.А. Левашов, Н.Н. Хавский, Дж.Дж. Мур. Изв. вузов. Цв. металлургия 1, 59 (1996)
  9. J.L. He, S. Miyake, Y. Setsuhara, I. Shimizu, M. Suzuki, K. Numata, H. Saito. Wear 249, 498 (2001)
  10. C. Heau, J.P. Terrat. Surf. Coat. Technol. 108--109, 332 (1998)
  11. M. Stoiber, C. Mitterer, T. Schoeberi, E. Badisch, G. Fontaivo, R. Kullmer. J. Vac. Sci. Techmol. B 21, 3, 1084 (2003)
  12. M. Tamura, H. Kubo. Surf. Coat. Technol. 54--55, 255 (1992)
  13. C. Rebholz, H. Ziegele, A. Leyland, A. Matthews. J. Vac. Sci. Technol. 5, 2851 (1998)
  14. Р.А. Андриевский, Г.В. Калинников, Н.П. Кобелев, Я.М. Сойфер, Д.В. Штанский. ФТТ 39, 10, 1859 (1997)
  15. L. Donohue, I.J. Smith, W.-D. Munz, I. Petrov, J.E. Greene. Surf. Coat. Technol. 94--95, 226 (1997)
  16. E. Pfluger, A. Schroer, P. Voumard, L. Donohue, W.-D. Munz. Surf. Coat. Technol. 115, 17 (1999)
  17. M. Zhou, M. Nose, Y. Makino, K. Nogi. Thin Solid Films 343--344, 234 (1999)
  18. Е.А. Левашов, Д.В. Ларихин, Д.В. Штанский, А.С. Рогачев, А.Э. Григорян. Цв. металлы 5, 49 (2002)
  19. G.M. Pharr. Mater. Sci. Eng. 253, 151 (1998)
  20. G.M. Pharr, W.C. Oliver, F.R. Brotzen. J. Mater. Res. 3, 613 (1992)
  21. M.A. Baker, T.P. Mollart, P.N. Gibson, W. Gissler. J. Vac. Sci. Technol. 15, 2, 284 (1997)
  22. Y. Sakamaoto, M. Nose, T. Mae, E. Honbo, M. Zhou, K. Nogi. Surf. Coat. Technol. 174, 444 (2003)
  23. S.M. Aouadi, F. Namavar, E. Tobin, N. Finnegan, R.T. Haasch, R. Nilchiani, J.A. Turner, S.L. Rohde. J. Appl. Phys. 91, 3, 1040 (2002)
  24. A. Gupper, A. Fernandez, C. Fernandez-Ramos, F. Hofer, C. Mitterer, P. Warbichler. Monatshefte fur Chemie 133, 837 (2002)
  25. S.M. Aouadi, F. Namavar, T.Z. Goroshnyy, S.L. Rohde. Surf. Coat. Technol. 160, 145 (2002)
  26. Р.А. Андриевский, Г.В. Калинников, N. Hellgren, P. Sandstrom, Д.В. Штанский. ФТТ 42, 9, 1624 (2000)
  27. R. Wiedemann, V. Weihnacht, H. Oettel. Surf. Coat. Technol. 116--119, 302 (1999)
  28. D. Schneider, Th. Schwarz, H.-P. Buchkremer, D. Stover. Thin Solid Films 224, 177 (1993)
  29. R. Saha, W.D. Nix. Acta Mater. 50, 23 (2002)
  30. S. Veprek, S. Mukherjee, P. Karvankova, H.-D. Mannling, J.L. He, J. Xu, J. Prochazka, A.S. Argon, A.S. Li, Q.F. Fang, S.Z. Li, M.H. Manghnani, S. Tkachev. MRS Symp. Proc. 750, Y 1.3 (2002)
  31. D.V. Shtansky, E.A. Levashov, N.A. Glushankova, N.B. D'yakonova, S.A. Kulinich, M.I. Petrzhik, F.V. Kiryukhantsev-Korneev, F. Rossi. Surf. Coat. Technol. 182, 101 (2004)
  32. Р.А. Андриевский, И.И. Спивак. Прочность тугоплавких соединений и материалов на их основе. Справочник. Металлургия, Челябинск (1989). 368 с
  33. K.N. Jallad, D. Ben-Amotz. Wear 252 956 (2002)
  34. H. Hollek, V. Schier. Surf. Coat. Technol. 76--77, 328 (1995)
  35. R. Kullmer, C. Lugmair, A. Figueras, J. Bassas, M. Stoiber, C. Mitterer. Surf. Coat. Technol. 174--175, 1229 (2003)
  36. D.V. Shtansky, I.V. Lyasotsky, N.B. D'yakonova, F.V. Kiryukhantsev-Korneev, S.A. Kulinich, E.A. Levashov, J.J. Moore. Surf. Coat. Technol. 182, 204 (2004)
  37. A. Leyland, A. Matthews. Wear 246, 1 (2000)
  38. W. Gissler. Surf. Coat. Technol. 68/69, 556 (1994).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme