Дефекты кристаллической структуры и холловская подвижность электронов в слоях Si : Er / Si, выращенных методом сублимационной молекулярно-лучевой эпитаксии
Кузнецов В.П.1, Рубцова Р.А.1, Шабанов В.Н.1, Касаткин А.П.1, Седова С.В.1, Максимов Г.А.1, Красильник З.Ф.1, Демидов Е.В.1
1Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Выставление онлайн: 20 декабря 2004 г.
Определена холловская подвижность электронов и металлографическим методом исследована плотность дефектов кристаллической структуры в слоях Si : Er, выращенных при температурах 520-580oC с помощью сублимационной молекулярно-лучевой эпитаксии. Введение эрбия в слои Si до концентрации ~5·1018 cm-3 не сопровождалось увеличением плотности дефектов, но приводило к значительному уменьшению подвижности электронов. Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (гранты N 01-02-16439, 02-02-16773) и Минпромнауки РФ (госконтракты N 40.020.I.I.II61, 40.020.I.I.II59).
- H. Ennen, J. Schneider, G. Pomrenke, A. Axman. Appl. Phys. Lett. 43, 10, 943 (1983)
- Н.А. Соболев. ФТП 29, 7, 1153 (1995).
- G. Franzo, S. Coffa, F. Priolo, C. Spinella. J. Appl. Phys. 81, 6, 2784 (1997)
- S. Coffa, J. Franzo, F. Priolo, A. Pacelli, A. Lacaita. Appl. Phys. Lett. 73, 1, 93 (1998)
- Y. Stimmer, A. Reittinger, J.F. Nutzel, G. Abstreiter, H. Holzbrecher, Ch. Buchal. Appl. Phys. Lett. 68, 23, 3290 (1996)
- K. Serna, Jung H. Shin, M. Lohmeier, E. Vlieg, A. Polman, P.F. Alkemade. J. Appl. Phys. 79, 5, 2653 (1996)
- В.П. Кузнецов, Р.А. Рубцова. ФТП 34, 5, 519 (2000)
- Е.Н. Морозова, В.Б. Шмагин, З.Ф. Красильник, А.В. Антонов, В.П. Кузнецов, Р.А. Рубцова. Изв. РАН. Сер. физ. 67, 2, 283 (2003)
- О.В. Александров, А.О Захарьин, Н.А. Соболев, Ю.А. Николаев. ФТП 36, 3, 379 (2002)
- M. Stepikhova, B. Andreev, V. Shmagin, Z. Krasil'nik, N. Alyabina, V. Chalkov, V. Kuznetsov, V. Shabanov, V. Shengurov, S. Svetlov, E. Uskova, N. Sobolev, A. Emel'yanov, O. Gusev, P. Pak. Матер. совещ. "Нанофотоника". Н. Новгород (2001). С. 265
- В.П. Кузнецов, Р.А. Рубцова, Т.Н. Сергиевская, В.В. Постников. Кристаллография 16, 2, 432 (1971)
- М.Г. Мильвидский, О.Г. Столяров, А.В. Беркова. ФТТ 6, 12, 3259 (1964)
- T.S. Glowinke, J.B. Wagner. J. Phys. Chem. Sol. 38, 9, 963 (1977)
- P.P. Debye, T. Kohane. Phys. Rev. 94, 3, 724 (1954)
- А.М. Ансельм. Введение в теорию полупроводников. Гос. изд-во физ.-мат. лит., М.--Л. (1962). С. 305
- П.М. Баранский, В.П. Клочков, И.В. Потыкевич. Полупроводниковая электроника. Справочник. Наук. думка, Киев (1975). С. 157, 243
- C. Erginsoy. Phys. Rev. 79, 6, 1013 (1950)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.