Вышедшие номера
Высокоразрешающая просвечивающая и сканирующая электронная микроскопия наноструктурных боридонитридных пленок
Андриевский Р.А.1, Калинников Г.В.1, Штанский Д.В.2,3
1Институт новых химических проблем Российской академии наук, Черноголовка, Московская обл., Россия
2Российский научный центр "ЦНИИЧермет им. И.П. Бардина", Москва, Россия
3Department of Materials Science and Engineering, Ehime University, 3 Bunkyo-cho, Matsuyama 790-77, Japan
Поступила в редакцию: 12 мая 1999 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2000 г.

Приведены результаты электронно-микроскопического изучения границ зерен и структуры изломов пленок на основе борида и нитрида титана, полученных методом нереактивного магнетронного распыления. Химический и фазовый состав пленок анализировался с помощью оже-электронной спектроскопии и микроэлектронной дифракции. Обсуждается структура границ, наличие аморфных включений, присутствие дислокаций и других искажений структуры, а также характер деформации при индентировании. Работа выполнялась при поддержке программ ИНТАС (проект N 96-2232) и "Интеграция" (проект N 855).