Влияние скорости осаждения Ge на рост и фотолюминесценцию самоформирующихся островков Ge(Si) / Si(001)
Востоков Н.В.1, Красильник З.Ф.1, Лобанов Д.Н.1, Новиков А.В.1, Шалеев М.В.1, Яблонский А.Н.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: shaleev@ipm.sci-nnov.ru
Выставление онлайн: 20 декабря 2004 г.
Представлены результаты исследований роста и фотолюминесценции (ФЛ) самоформирующихся островков Ge(Si) / Si(001), полученных в широком интервале скоростей (vGe=0.1-0.75 Angstrem / s) осаждения Ge при температуре Tg=600oC. АСМ-исследования показали, что для всех скоростей осаждения Ge доминирующим типом островков на поверхности являются dome-островки. Обнаружено, что латеральный размер островков уменьшается, а их поверхностная плотность растет с увеличением vGe. Уменьшение латерального размера связывается как с увеличением содержания Ge в островках, так и с увеличением доли поверхности, занятой ими. Обнаруженное смещение положения пика ФЛ в область меньших энергий также объясняется повышением содержания Ge в островках при увеличении vGe. Работа выполнена при поддержке гранта Российского фонда фундаментальных исследований N 02-02-16792, проекта INTAS NANO N 01-444 и программ Минпромнауки РФ.
- T.I. Kamins, E.C. Carr, R.S. Williams, S.J. Rosner. J. Appl. Phys. 81, 211(1997)
- О.П. Пчеляков, Ю.Б. Болховитянов, А.В. Двуреченский, Л.В. Соколов, А.И. Никифоров, А.И. Якимов, Б. Фойхтлендер. ФТП 34, 1281 (2000)
- M.W. Dashiell, U. Denker, C. Muller, G. Costantini, C. Manzano, K. Kern, O.G. Schmidt. Appl. Phys. Lett. 80, 1279 (2002)
- A.V. Novikov, B.A. Andreev, N.V. Vostokov, Yu.N. Drozdov, Z.F. Krasil'nik, D.N. Lobanov, L.D. Moldavskaya, A.N. Yablonskiy, M. Miura, N. Usami, Y. Shiraki, M.Ya. Valakh, N. Mesters, J. Pascual. Mater. Sci. Eng. B 89, 62 (2002)
- F.M. Ross, J. Tersoff, R.M. Tromp. Phys. Rev. Lett. 80, 984 (1998)
- Y.-W. Mo, D.E. Savage, B.S. Swartzentruber, M.G. Lagally. Phys. Rev. Lett. 65, 1020 (1990)
- O.G. Schmidt, C. Lange, K. Eberl. Phys. Stat. Sol. (b) 215, 319 (1999)
- Н.В. Востоков, З.Ф. Красильник, Д.Н. Лобанов, А.В. Новиков, М.В. Шалеев, А.Н. Яблонский. ФТТ 46, 1, 63 (2004)
- Н.В. Востоков, Ю.Н. Дроздов, З.Ф. Красильник, Д.Н. Лобанов, А.В. Новиков, А.Н. Яблонский. Письма в ЖЭТФ 76, 365 (2002)
- J.A. Floro, G.A. Lucadamo, E. Chason, L.B. Freund, M. Sinclair, R.D. Twesten, R.Q. Hwang. Phys. Rev. Lett. 80, 4717 (1998)
- В.Я. Алешкин, Н.А. Бекин, Н.Г. Калугин, З.Ф. Красильник, А.В. Новиков, В.В. Постников, Х. Сейрингер. Письма в ЖЭТФ 67, 46 (1998)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.