Издателям
Вышедшие номера
Термодесорбция кремния с текстурированных лент тантала
Агеев В.Н.1, Афанасьева Е.Ю.1, Потехина Н.Д.1, Потехин А.Ю.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 12 мая 1999 г.
Выставление онлайн: 20 января 2000 г.

Изучалось взаимодействие Si с Ta методами оже-спектроскопии и температурно-программируемой десорбции (ТПД). Показано, что при монослойном покрытии адатомы Si начинают проникать в объем подложки при T>=q 1400 K. Форма спектра и кривые отжига могут быть объяснены влиянием латерального отталкивания Si--Si в адслое не только на десорбцию, но и на уход Si в объем. Из анализа экспериментальных данных были определены некоторые соотношения между кинетическими параметрами. Их использование в численном расчете на основе ранее предложенной модели позволило определить (путем сравнения расчета с опытом) кинетические параметры всех процессов взаимодействия Si с подложкой из Ta при ТПД (десорбция, уход в объем, диффузии и выхода Si на поверхность). Показано, что удовлетворительное описание эксперимента получается только в предположении, что диффузия в конце ТПД после достижения максимума происходит лишь в пределах тонкого слоя вблизи поверхности, поэтому атомы Si быстрее выходят на поверхность и десорбируются, чем диффундируют в объем. Это означает, что слой вблизи поверхности при высоких температурах во время ТПД имеет нарушенную структуру по сравнению с начальной структурой Ta. Работа выполнена в рамках программы "Атомные поверхностные структуры" (проект N 4.5.99).
  1. G. Ross. Surf. Rep. 7, 1 (1987)
  2. В.Н. Агеев, Е.Ю. Афанасьева, Н.Р. Галль, С.Н. Михайлов, Е.В. Рутьков, А.Я. Тонтегоде. Поверхность 5, 7 (1987)
  3. В.Н. Агеев, Е.Ю. Афанасьева, Н.Р. Галль, С.Н. Михайлов, Е.В. Рутьков, А.Я. Тонтегоде. Письма в ЖТФ 12, 9, 565 (1986)
  4. В.Н. Агеев, Е.Ю. Афанасьева. Поверхность 7, 30 (1987)
  5. Е.Ю. Афанасьева, Н.Д. Потехина, С.М. Соловьев. ФТТ 37, 2, 463 (1995)
  6. В.Н. Агеев, Е.Ю. Афанасьева, С.М. Соловьев, А.К. Григорьев. ФТТ 35, 2, 481 (1993)
  7. N.R. Gall, E.V. Ryt'kov, A.Ya. Tontegode, M.M. Usufov. Phys. Low-Dim. Struct. 4/5, 75 (1996)
  8. В.Н. Агеев, Е.Ю. Афанасьева. ФТТ 39, 8, 1484 (1997)
  9. T.A. Nguyen Tau, V. Azizan, J. Derrien. Surf. Sci. 189/190, 339 (1987)
  10. G.J. Campisi, A.J. Bevolo, H.R. Shanks, H.A. Schmidt. J. Appl. Phys. 53, 1714 (1982)
  11. В.Н. Агеев, А.Ю. Потехин, Н.Д. Потехина. Поверхность 1, 31 (1987)
  12. В.Н. Агеев, А.Ю. Потехин, Н.Д Потехина. Поверхность 1, 5 (1991)
  13. M. Mavrikakis, J.M. Schwank, Y.L. Gland. Surf. Sci. 355, 385 (1996)
  14. D.L. Adams. Surf. Sci. 42, 12 (1974)
  15. V.P. Zhdanov. Elementary Physical Chemical Processes on Solids Surfaces. Plenum, N. Y. (1991)
  16. P.A. Redhead. Vacuum 12, 2, 203 (1962)
  17. Н.Д. Потехина. ФТТ (1999)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.