Издателям
Вышедшие номера
Кинетика отжига осажденного слоя при наличии термодесорбции и диффузии частиц в подложку
Потехина Н.Д.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 3 ноября 1998 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1999 г.

На основе теории теплопроводности получены зависимости Оже-сигнала и потока десорбции атомов адсорбата от времени отжига и от констант скоростей приповерхностных реакций и диффузии в объем. Показано, что лишь при поверхностно-контролируемом уходе адатомов в объем спад Оже-сигнала со временем линеен с sqrt(sqrt), что и наблюдалось при отжиге Si/Ta. Показано, что начальное распределение адатомов в объеме, полученное во время нагрева адслоев разной толщины до температуры отжига, почти не сказывается на зависимости измеряемых сигналов от времени, но проявляется в их зависимости от температуры отжига. Найдена связь между временем растворения адпленки при нагреве и ее толщиной.
  1. В.Н. Агеев, А.Ю. Потехин, Н.Д. Потехина. Поверхность 1, 31 (1987)
  2. В.Н. Агеев, А.Ю. Потехин, Н.Д. Потехина. Поверхность 1, 5 (1991)
  3. А.И. Губанов. ФТТ 15, 7, 740 (1973)
  4. В.Н. Агеев, Е.Ю. Афанасьева, Н.Р. Галль, Е.В. Рутьков, А.Я. Тонтегоде. Поверхность 5, 7 (1987)
  5. В.Н. Агеев, Е.Ю. Афанасьева. Письма в ЖТФ 12, 9, 565 (1986)
  6. В.Н. Агеев, Е.Ю. Афанасьева, С.М. Соловьев, А.К. Григорьев. ФТТ 35, 2, 481 (1993)
  7. Е.Ю. Афанасьева, Н.Д. Потехина, С.М. Соловьев. ФТТ 37, 2, 463 (1995)
  8. N.R. Gall, E.V. Rut'kov, A.Ya. Tontegode, M.M. Usufov. Phys. Low.-Dim. Struct. 4/5, 75 (1996)
  9. Т. Карслоу, Д. Егер. Теплопроводность твердых тел. Наука, М. (1964). 487 с
  10. А.И. Райченко. Математическая теория диффузии в приложениях. Наук. думка, Киев (1981). 396 с
  11. P.A. Redhead. Vacuum 12, 203 (1962)
  12. И.С. Градштейн, И.М. Рыжик. Таблицы интегралов, суммы, рядов и произведений. Наука, М. (1971). 1108 с
  13. Г. Дёч. Руководство к практическому применению преобразования Лапласа. Наука, М. (1971). 288 с
  14. Г. Бейтмен, А. Эрдейи. Таблицы интегральных преобразований. Т. 1. Наука, М. (1969). 343 с
  15. А.П. Прудников, Ю.А. Брычков, О.И. Маричев. Интегралы и ряды. Наука, М. (1981). 796 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.