Физика твердого тела
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Кинетика отжига осажденного слоя при наличии термодесорбции и диффузии частиц в подложку
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия 
Поступила в редакцию: 3 ноября 1998 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1999 г.
На основе теории теплопроводности получены зависимости Оже-сигнала и потока десорбции атомов адсорбата от времени отжига и от констант скоростей приповерхностных реакций и диффузии в объем. Показано, что лишь при поверхностно-контролируемом уходе адатомов в объем спад Оже-сигнала со временем линеен с sqrt(sqrt), что и наблюдалось при отжиге Si/Ta. Показано, что начальное распределение адатомов в объеме, полученное во время нагрева адслоев разной толщины до температуры отжига, почти не сказывается на зависимости измеряемых сигналов от времени, но проявляется в их зависимости от температуры отжига. Найдена связь между временем растворения адпленки при нагреве и ее толщиной.
- В.Н. Агеев, А.Ю. Потехин, Н.Д. Потехина. Поверхность 1, 31 (1987)
- В.Н. Агеев, А.Ю. Потехин, Н.Д. Потехина. Поверхность 1, 5 (1991)
- А.И. Губанов. ФТТ 15, 7, 740 (1973)
- В.Н. Агеев, Е.Ю. Афанасьева, Н.Р. Галль, Е.В. Рутьков, А.Я. Тонтегоде. Поверхность 5, 7 (1987)
- В.Н. Агеев, Е.Ю. Афанасьева. Письма в ЖТФ 12, 9, 565 (1986)
- В.Н. Агеев, Е.Ю. Афанасьева, С.М. Соловьев, А.К. Григорьев. ФТТ 35, 2, 481 (1993)
- Е.Ю. Афанасьева, Н.Д. Потехина, С.М. Соловьев. ФТТ 37, 2, 463 (1995)
- N.R. Gall, E.V. Rut'kov, A.Ya. Tontegode, M.M. Usufov. Phys. Low.-Dim. Struct. 4/5, 75 (1996)
- Т. Карслоу, Д. Егер. Теплопроводность твердых тел. Наука, М. (1964). 487 с
- А.И. Райченко. Математическая теория диффузии в приложениях. Наук. думка, Киев (1981). 396 с
- P.A. Redhead. Vacuum 12, 203 (1962)
- И.С. Градштейн, И.М. Рыжик. Таблицы интегралов, суммы, рядов и произведений. Наука, М. (1971). 1108 с
- Г. Дёч. Руководство к практическому применению преобразования Лапласа. Наука, М. (1971). 288 с
- Г. Бейтмен, А. Эрдейи. Таблицы интегральных преобразований. Т. 1. Наука, М. (1969). 343 с
- А.П. Прудников, Ю.А. Брычков, О.И. Маричев. Интегралы и ряды. Наука, М. (1981). 796 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
