Физика твердого тела

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2 3
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Неустойчивость упруго-сжатой поверхности кремния при травлении

Шретер Ю.Г.¹, Тархин Д.В.¹, Хорев С.А.¹, Ребане Ю.Т.¹

¹Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия Ioffe Institute, St. Petersburg, Russia

Поступила в редакцию: 17 июля 1998 г.

Выставление онлайн: 20 июля 1999 г.

PDF версия

Необычный рельеф в виде линейных дефектов, похожих на квазитрещины или канавки, наблюдался на сжатой поверхности изогнутой пластины кремния в процессе ее химической обработки - травления. Среднее расстояние между возникающими дефектами определялось величиной механической деформации поверхности. Предполагается, что причиной этого явления может быть нестабильность Азаро-Тиллера-Гринфельда (АТГ) в системе "сжатая поверхность-агрессивная среда (травитель)". Предложена простая методика создания значительных механических деформаций поверхности кремния (до 0.5%) при комнатной температуре.

R.J. Asaro, W.A. Tiller. Metall. Trans. 3, 1789 (1972)
M.A. Crinfeld. Sov. Phys. Dokl. 31, 831 (1986)
D.J. Srolovitz. Acta Metall. 37, 621 (1988)
R.H. Torii, S. Balibar. J. Low Temp. Phys. 89, 391 (1992)
J. Berrehar, C. Caroli, C. Lapersonne-Meyer, M. Schott. Phys. Rev. B46, 3487 (1992)
Y.G. Shreter, Y.T. Rebane, D.V. Tarkhin, S.A. Khorev, D. Cherns, J.W. Steeds. Microscopy of Semiconducting Materials / Ed. by A.G. Cullis, A.E. Staton-Bevan. Inst. Phys. Conf. Ser. 146, 499 (1995)
Y.G. Shreter, Y.T. Rebane, D.V. Tarkhin, D. Cherns, J.W. Steeds. Material Science Forum. 196--201, 3, 1231 (1995)
M. Renninger, J. Appl. Cryst. 5, 163 (1972)
A.S.T. Badrick, F. Eldeghaidy, K.E. Puttick, M.A. Shahid. J. Appl. Phys. D10, 195 (1977)
J. Sunada. Jap. J. Appl. Phys. 13, 1944 (1974)
K.E. Puttick, M.M. Hosseine. J. Phys. D13, 875 (1980)
K. Minova, K. Sumino. Phys. Rev. Lett. 69, 320 (1992)
I.V. Gridneva, Y.V. Milman, V.I. Trefilov. Phys. Stat. Sol. 14, 177 (1972)
F. Secco d'Aragona. J. Electrochem. Soc. 119, 7, 948 (1972)
A.L. Ruoff. In: High Pressure Science and Technology / Ed. by K.D. Timmerhaus, M.S. Baker. 2. Plenum Press, N.Y. (1979). P. 525
W.H. Yang, D.J. Srolovitz. Phys. Rev. Lett. 71, 1593 (1993)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель