Ориентированный рост бескислородных кристаллитов C60 на кремниевых подложках
Макарова Т.Л.1, Захарова И.Б.2, Зубкова Т.И.2, Вуль А.Я.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный технический университет, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 15 мая 1998 г.
Выставление онлайн: 20 января 1999 г.
Впервые получены кристаллические пленки фуллеренов C60 на кремниевых подложках, покрытых слоем естественного окисла. Размеры кристаллитов достигают одного микрона. Обнаружена повышенная стабильность пленок к атмосферному кислороду. Для получения пленок использовался модифицированный метод дискретного испарения в квазизамкнутом объеме. Отличительными особенностями метода являются квазиравновесные условия конденсации, использование высокой температуры подложки (до 300oC), чередование процессов напыления и рекристаллизации в едином технологическом цикле. Метод характеризуется высокими скоростями конденсации пленок (до 2000 Angstrem/min) и экономным расходованием исходного материала. Проведено исследование структуры и морфологии поверхности, профиля оптических констант и профиля элементного состава пленок.
- A.F. Hebard, R.C. Haddon, R.M. Fleming, A.R. Kortan. Appl. Phys. Lett. 59, 17, 2109 (1991)
- A.F. Hebard, O. Zhou, Q. Zhong, R.M. Fleming, R.C. Haddon. Thin Solid Films 257, 2, 147 (1995)
- A. Richter, R. Smith. Wissenschaftliche Beitrage 1, 72 (1996)
- W. Krakow, N.M. Rivera, R.A. Roy, R.S. Ruoff, J.J. Cuomo. Appl. Phys. A56, 185 (1993)
- H. Yanagi, T. Sasaki. Appl. Phys. Lett. 65, 10, 1222 (1994)
- Ю.Ф. Бирюлин, А.Я. Вуль, И.К. Ионова, О.И. Коньков, Т.Л. Макарова, Е.И. Теруков, В.А. Шульбах. ФТТ 37, 3124 (1995)
- A.F. Hebard, T.T.M. Palstra, R.C. Haddon, R.M. Fleming. Phys. Rev. B48, 13, 9945 (1993)
- J.E. Fisher, E. Werwa, P.A. Heiney. Appl. Phys. A56, 193 (1993)
- T. Nguyen Mahn, H. Sitter, D. Stifter. In: Proc. Int. Winterschool on electronic properties of novel materials / Ed. H. Kuzmany, J. Fink, M. Mehring, S. Roth. World Scientific Publ., Singapoure (1996). P. 430
- G. Meijer, D.S. Bethune. J. Chem. Phys. 93, 7800 (1990)
- D. Wang, G. Ke, S. Qian, W. Peng, Z. Yu. Chin. Phys. Lett. 12, 717 (1995)
- G. Gensterblum, L.-M. Yu. J.-J. Pireaux, P.A. Thiry, R. Caudiano. In: Electronic properties of fullerenes / Ed. H. Kuzmany, J. Fink, M. Mehring, S. Roth. Springer ser. Berlin (1994). P. 195
- D.M. Chen, H. Xu, W.N. Creager, P. Burnett. J. Vac. Sci. Technol. B12, 3, 1910 (1994)
- K. Tanigaki, S. Kuroshima, J. Fujita, T.W. Ebbessen. Appl. Phys. Lett. 63, 17, 2351 (1993)
- T.L. Makarova, N.V. Seleznev, I.B. Zakharova, T.I. Zubkova. Mol. Mat. 10, 105 (1998)
- Т.Л. Макарова, В.И. Сахаров, И.Т. Серенков, А.Я. Вуль. ФТТ 41, 3, 000 (1999)
- J. Abrefah, D.R. Olander, M. Balooch, W.J. Siekhaus. Appl. Phys. Lett. 60, 1313 (1992)
- H. Werner, M. Wohlers, D. Bublak, J. Blocker, R. Schlogel. Fullerene Sci. Techn. 1, 457 (1993)
- H. Werner, Th. Schedel-Niedrig, M. Wohlers, D. Herein, B. Herzog, R. Schlogel, M. Keil, A.M. Bradshaw, J. Kirschner. J. Chem. Soc. Faradey Trans. 90, 403 (1994)
- T.L. Makarova. Mol. Mat. 7, 199 (1996)
- L. Maissel, R. Glang. Handbook of Thin Technology. McGraw Hill Book Company (1970)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.